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原子层沉积系统
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800000.00
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***********公司企业信息
****政府采购意向公告-原子层沉积系统 详细情况
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****政府采购意向公告 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 80.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
“原子层沉积系统；1套；参数如下： 1.可支持直径200 mm基片。 2 腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理。 3 预留等离子体接口，可直接升级到等离体配置，不需要更换腔体。 4自动开关腔门设计，配备腔门关闭检测开关。 5,喷淋设计，进气自上而下流经衬底。 6,腔体四周及上下盖板具备加热保温功能。 7.样品台加热温度可达500 ℃，温度控制精度 ± 1 ℃。 8独特的内衬设计，方便腔室的清洁和维护。 9.范围：0.005 Torr - 10 Torr，1个大气压力计用于测量至大气压，量程范围：1 Torr - 760 Torr。 10抽气管路配备加热装置，加热可达120 ℃，控温精度为 ± 1 ℃。“
|
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-03-11
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原子层沉积系统
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