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多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜
招标详情
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***********公司企业信息
****政府采购意向公告-多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜 详细情况
| 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | ****政府采购意向公告 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
“1.离子源种类四种，至少包含Xe+、O+、N+和Ar+； 2. 离子源可通过软件控制切换，切换时间不超过10 min； 3.离子束分辨率：20nm @ 30kV (多边法)，10nm @ 30kV (选边法) 4.离子束束流强度：2.5uA 5 .Xe+离子源寿命：4000小时，随机至少带1罐高纯Xe气. 6.具备束流测量装置。 7.配置铂沉积、钨沉积、Dx刻蚀等多种气体； 8.电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝 9.分辨率：优于0.6nm @ 15kV；0.7nm @ 1kV； 10.束流强度0.8pA-100nA 11.样品室内径379mm 12.五轴马达驱动样品台，样品台移动范围：X/Y方向110mm，Z方向65mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度)，倾角-15至90度 13.最大样品直径122mm 14.最大样品高度：到偏心点的间隙85mm 15.具有样品室二次电子探测器、极靴内探测器，具有二次电子和背散射电子两种模式 、样品室红外CCD相机、样品室内样品导航相机等探测器 1.6具有主机软件集成原位样品全自动提出系统，用于制备好透射电镜样品后提出：漂移≤50nm/min；马达驱动360度无限制旋转； 17.具备微纳加工图像构建软件，不少于50个图层的加工控制 18.具有图像漂移校正和智能隔行扫描技术“
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| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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