冷场发射透射电镜

“1. 电子枪 1.1电子枪类型：**命高亮度冷场发射电子枪 *1.2小束斑下束流：≥2.5nA(束斑尺寸为0.7nm) 2 分辨率 2.1点分辨率：≤0.23nm@200KV； *2.2线分辨率：≤0.10nm@200KV；0.14nm@80KV 3 加速电压：最高可达200kV ，加速电压连续可调，步长50V *4 TEM模式下放大倍数： 50~2,000,000倍 5 物镜系统 *5.1球差系数：≤1.0mm *5.2色差系数：≤1.4mm *5.3最小聚焦步长：≤1.4nm 6 聚光镜系统 6.1球差系数：≤1.0mm 6.2色差系数：≤1.4mm *6.3采用四级聚光镜系统，可以实现会聚角度和亮度的单独控制 7 样品台 7.1 安装方式：侧插式测角仪样品台，采用皮米级压电陶瓷控制，最小步长50皮米 *7.2样品更换：只需点击按钮即可实现样品杆的全自动插入或者退出，退出时样品台坐标自动清零，减少误操作；手动更换方式同时并存； 7.3 样品台驱动方式：五轴马达驱动(X/Y/Z/倾斜X/倾斜Y ) 7.4 样品移动范围：2mm(X, Y); 0.4mm(Z) 样品倾斜角度：≥ 35(X) / 30(Y) 8 扫描透射附件(STEM) 技术规格 8.1 HAADF分辨率：≤0.16nm（200KV，0.136nm可获得） 8.2 STEM模式放大倍率： 200~150,000,000倍 8.3 标配置先进的双探测器系统，可快速得到高分辨明场BF像，STEM能快速拍摄高质量的暗场DF像和高角环形暗场HAADF像及表征轻元素的环形明场像（ABF） *8.4 配置背散射电子探测器， 分辨率1nm *8.5 TEM、SEI、 STEM模式通过软件简单点击即可快速切换，保证SEI图像、BF、DF和HAADF图像采集的无缝式切换。 9 X射线能谱分析仪技术规格 *9.1 探测器类型：双探测器200mm2探测器面积, 电制冷无窗型 9.2 能量分辨率： 133eV 元素分析范围：4B至92U *9.3 EDS固体角：≥双探测器1.7sr 10数字化照相系统 10.1图像采集系统：配置底部安装CMOS相机一个，样品室观察相机一个。 10.2 CMOS相机最大像素：≥4096* 4096，像素尺寸为9μm X 9μm *10.3拍摄速度：≥20fps@4