招标公告扫描电子显微镜系统

序号

分项名称

主要技术参数

单位

数量

1

扫描电子显微镜

1.1.电子光学系统

1)电子枪：预对中型发叉式钨灯丝电子枪；

*2)分辨率： 优于3 nm @ 30 kV，SE；5 nm @ 10kV，SE；7 nm @ 3 kV，SE；

3)加速电压范围：200 V～30 kV ；

4)放大倍数范围：1 x～300000 x（底片放大倍数，1～16x光学放大）；

5)电子束束流：0.5pA～2 μA；

6)束斑：大小可调；

1.2.真空系统

1)涡轮分子泵1台；

2)机械泵1台；

3)真空控制：全自动，具有真空互锁功能，有效避免误操作；

4)真空电机，不需要穿过真空舱，防止污染仓体，无密封件等消耗品；

5)样品仓真空度：≤5×10-4 Pa；

1.3.样品仓及样品台

1)样品台：5轴全自动样品台，全真空电机驱动；

2)样品台行程：X≥125 mm，Y≥125 mm；Z≥50 mm；，T：-10°~ +90°，R：360°连续可调；

1)样品仓容积：宽≥340 mm，高≥274 mm，深≥295 mm；

2)最大样品尺寸：直径≥270 mm，高≥53 mm；

3)样品台承重：≥500 g；

4)可扩展附件接口数量≥13个；

1.4.附件

1)探测器配置：二次电子探测器ETD，背散射电子探测器，样品室红外CCD相机，光学导航相机；

2)喷金仪

1.5.软件和图像显示

1)图像显示：768x512或1536x1024；

2)图像保存：最大48kx32k；

3)可集成第三方探测器信号输入，并在软件上进行成像；

4)MIX模式，根据不同通道的信号进行混合成像；

5)标配彩色CCD相机的光学导航功能；

6)测量功能：支持多种测量标记工具，如长度、角度、直径等，测量标识可编辑和修改位置；

7)自动调整功能：自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等；除自动像散功能外，标配智能辅助消像散功能；

8)配套计算机配置不低于：windows 10专业版；专用工作站；CPU不低于I5；内存≥16G；硬盘 ≥500G；

9)显示器：24寸（分辨率1920×1200，显示比例16:10）；

1.6.电源

1)配备UPS电源

1.7.耗材

1)12.5 mm样品钉台1盒（20个）；

2)钉型样品台存储盒，1盒（5个）；

3)导电碳胶带1卷（宽8 mm，长20 m）；

4)预对中钨灯丝1盒（6支）；

1.8.售后服务

1)售后质保期≥一年，质保期外更换零部件只收取成本费、免人工费；

台

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能谱仪

①硅漂移（SDD）电制冷探测器，电动进出。采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片，单支芯片面积≥47mm2，有效面积≥30mm2，超薄窗设计，独立真空；采用纤细化等技术提高固体角，探测器探指直径≤16mm，改善系统分析效率；

②能量分辨率：Mn Kα保证优于129eV@130,000cps；

③谱峰实时显示：可以在移动样品中，显示谱峰的实时变化，找样品方便；

④处理单元与计算机采用分立式设计，系统最大输入计数率≥1500kcps，输出计数率600kcps

⑤元素分析范围：B5~Cf98；

⑥谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，48小时内峰位漂移小于1.5eV

⑦谱定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围；可自动扣除背底，并支持用户手动调整；可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离；

⑧定量分析：提供两种定量方法，并可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术，可对倾斜样品进行修正，并增强对轻元素的修正；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果；

台

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