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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0501MAC6WQE09T | 建设单位法人:杨清华 |
| ** | 建设单位所在行政区划:**省******新区 |
| **省******新区康山大道与王家漾路交叉口(现具体地址:**省**市康山街道王家漾路766号) |
| ****年产1.32亿套移动终端及车规级射频模块项目 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3989-C3989-其他电子元件制造 |
| 建设地点: | **省******新区 康山大道与王家漾路交叉口(现具体地址:**省**市康山街道王家漾路766号) |
| 经度:120.03913 纬度: 30.83557 | ****机关:****环境局****分局 |
| 环评批复时间: | 2024-09-11 |
| 湖新区环建〔2024〕10号 | 本工程排污许可证编号:****0501MAC6WQE09T001Y |
| 2026-03-04 | 项目实际总投资(万元):80000 |
| 1660 | 运营单位名称:**** |
| ****0501MAC6WQE09T | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| ****0501MAC6WQE09T | 验收监测单位:**普洛****公司 |
| 913********773120X | 竣工时间:2025-11-10 |
| 2025-11-11 | 调试结束时间:2025-12-18 |
| 2026-02-06 | 验收报告公开结束时间:2026-03-12 |
| 验收报告公开载体: | http://www.****.com/NewsDetail.aspx?ID=1721 |
| ** | 实际建设情况:** |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 年产1.32亿套移动终端及车规级射频模块 | 实际建设情况:年产0.792亿套移动终端及车规级射频模块(环评审批设计产能的60%) |
| 先行验收,部分设备未实施。 | 是否属于重大变动:|
| (1)晶圆生产工艺:LN晶圆→PVC毛刷刷洗→打标→晶圆预清洗→背镍蒸发→晶圆IPA清洗→光刻(IDT)→IDT金属蒸发→手工去金属→IDT Lift-off→光刻(piston)→piston金属蒸发→手工去金属→piston Lift-off→SiO2_1溅射→SiO2_1CMP→Trimming→SiO2_2溅射→SiO2_2CMP→光刻(VH)→干法刻蚀1→VH Lift-off→光刻(MET)→MET金属蒸发→手工去金属→MET Lift-off→背面Ni剥离→退火→绝缘膜沉积→光刻(PSV)干法刻蚀2→PSV Lift-off→SMT(委外)→Moiding(委外)→切割(委外)→模组测试(委外)→成品→外售 (2) 封装实验测试:Gold Stud→Tape Mount→晶圆减薄→解UV、去膜→Tape Mount→晶圆切割→解UV→超声波键合→Plasma→覆膜→激光刻字→Tape Mount→封装切割→封装解UV→烘烤→测试、T&R (3) 纯水制备工艺:自来水→热交换器→多介质过滤器→活性炭过滤器→紫外杀菌器→保安过滤器→一级RO→二级RO→一级TOCUV→EDI精密过滤器→EDI系统→热交换器→二级TOCUV→一级抛光混床→二级抛光混床→脱气膜→终端微滤→终端超滤→生产用纯水 | 实际建设情况:(1)晶圆生产工艺:LN晶圆→PVC毛刷刷洗→打标→晶圆预清洗→背镍蒸发→晶圆IPA清洗→光刻(IDT)→IDT金属蒸发→手工去金属→IDT Lift-off→光刻(piston)→piston金属蒸发→手工去金属→piston Lift-off→SiO2_1溅射→SiO2_1CMP→Trimming→SiO2_2溅射→SiO2_2CMP→光刻(VH)→干法刻蚀1→VH Lift-off→光刻(MET)→MET金属蒸发→手工去金属→MET Lift-off→背面Ni剥离→退火→绝缘膜沉积→光刻(PSV)干法刻蚀2→PSV Lift-off→SMT(委外)→Moiding(委外)→切割(委外)→模组测试(委外)→成品→外售 (2)封装实验测试:Gold Stud→Tape Mount→晶圆减薄→解UV、去膜→Tape Mount→晶圆切割→解UV→超声波键合→Plasma→覆膜→激光刻字→Tape Mount→封装切割→封装解UV→烘烤→测试、T&R (3)纯水制备工艺:自来水→热交换器→多介质过滤器→活性炭过滤器→紫外杀菌器→保安过滤器→一级RO→二级RO→一级TOCUV→EDI精密过滤器→EDI系统→热交换器→二级TOCUV→一级抛光混床→二级抛光混床→脱气膜→终端微滤→终端超滤→生产用纯水 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 废气:(1)碱性废气:项目碱性废气经全密闭管道收集后经酸喷淋处理后,尾气通过1根30m高排气筒排放。(2)酸性废气:本项目酸性废气分两大来源,一部分主要来源于生产过程中的酸洗、背镍刻蚀工序,主要污染物为HCl、HF、硫酸雾等,称为一般酸性废气;另一部分主要来自于干法刻蚀工序产生的酸性废气(SO2、Cl2)、全氟化物PFCs(CF4、SF6、CHF3、CF3)、BCl3等。由于该刻蚀工序中主要污染物为全氟化物,故称该部分废气为全氟化物酸性废气。酸性废气经全密闭管道收集后(全氟化物酸性废气先进入Scrubber处理后再进入碱液喷淋),进行碱喷淋处理,处理后尾气通过1根30m高排气筒排放。(3)有机废气:①生产工艺有机废气:项目生产工艺有机废气经全密闭管道收集后,经活性炭吸附处理后通过1根30m高排气筒排放。②实验室覆膜有机废气:****实验室一间,用于研究企业晶圆封装项目实施的可行性(本项目不进行晶圆封装,仅进行实验测试)。项目封测实验中使用UV膜和胶膜的量较少,且UV照射和覆膜过程中产生的有机废气(以非甲烷总烃计)量极小,可忽略不计,故本项目对该部分废气仅进行定性分析,要求企业在封测实验过程中实行密闭管理,****实验室进行经常性换气通风,****实验室的洁净度。(4)喷砂废气:喷砂废气经全密闭管道收集后,通过设备自带的电磁脉冲阀式除尘器处理后,尾气通过1根30m高排气筒排放。(5)天然气燃烧废气:燃气锅炉采用低氮燃烧技术,天然气燃烧废气经1根30m高排气筒高空排放。(6****处理站废气:污水处理站废气经构筑物密闭、管道负压收集后,经单独的废气处理系统(水喷淋+酸液喷淋)处理后,通过1根30m高排气筒排放。(7)储罐呼吸废气:本项目****处理站内,产生量较小,进行无组织排放即可。(8)食堂油烟废气:食堂油烟经油烟净化器收集处理后通过建筑物内设置的专用烟道引至楼顶排放。 废水:(1)生活污水:生活用水主要包括员工日常办公生活用水及食堂用水。产生的生活污水包括员工日常办公生活废水、食堂废水。生活污水经化粪池预处理后,通过市政****处理厂进行处理。(2)生产废水:本项目生产废水(含氟废水、含镍废水、一般废水及有机含氮废水),一般清洗废水经一般废水处理系统处理后纳管;碱性含氮废水、有机清洗废水经有机废水处理系统处理后纳管;含氟清洗废水经含氟废水处理系统处理后纳管;背面镍剥离清洗废水排放经含镍废水处理系统处理后纳管。(3)纯水制备废水:纯水制备废水直接纳管排放。(4)废气处理设施废水:含氟酸性废气喷淋废水经含氟废水处理系统处理后纳管,碱性废气喷淋废水、污水站废气喷淋废水经有机废水处理系统处理后纳管。(5)循环冷却水排水:循环冷却水排污水,纳管排放。(6)锅炉排水:锅炉使用期间,需定期进行排水,纳管排放。(7)初期雨水:初期雨水经收集至初期雨水收集池后,通过****处理站一般废水处理系统进行处理后纳管排放。 噪声:项目营运过程产生的噪声主要为设备运转过程产生的噪声,相应措施有①优先选用噪声值较低的设备,从源头控制噪声的危害。采购性能好、噪声低的设备,以最大限度地降低噪声;②建设项目将产生噪声较高的冷冻机组、纯水机组等放置在车间一层,且设置单独隔间布置,墙体采用隔声材料,隔间设置隔声门;③建设项目将产生噪声较大的生箔机等设备进行固定,设置减震基座,减少设备振动产生的噪声,且设备底部设置减震基础;④建设项目空调机组放置在车间二层,主机组设置微穿孔板消声静压箱,产生噪声和振动较大的引风机设置隔声罩,设备入口软连接;⑤空调单独布置在二层的空调间内,空调底部设置减震基础;⑥同时尽量将所有设备均布置在车间内,以减轻噪声对环境的污染。加强对各类设备的管理和维护,避免设备不正常运转产生的噪声、安装减振等措施。 固废:加强固废污染防治。 | 实际建设情况:废气:(1)碱性废气:项目碱性废气经全密闭管道收集后经酸喷淋处理后,尾气通过1根30m高排气筒排放。(2)酸性废气:酸性废气经全密闭管道收集后(全氟化物酸性废气先进入Scrubber处理后再进入碱液喷淋),进行碱喷淋处理,处理后尾气通过1根30m高排气筒排放。(3)有机废气:①生产工艺有机废气:项目生产工艺有机废气经全密闭管道收集后,经活性炭吸附处理后通过1根30m高排气筒排放。②实验室覆膜有机废气:项目封测实验中使用UV膜和胶膜的量较少,且UV照射和覆膜过程中产生的有机废气(以非甲烷总烃计)量极小,企业在封测实验过程中实行密闭管理,****实验室进行经常性换气通风,****实验室的洁净度。(4)喷砂废气:喷砂废气经全密闭管道收集后,通过设备自带的电磁脉冲阀式除尘器处理后,尾气通过1根30m高排气筒排放。(5)天然气燃烧废气:燃气锅炉采用低氮燃烧技术,天然气燃烧废气经1根30m高排气筒高空排放。(6****处理站废气:污水处理站废气经构筑物密闭、管道负压收集后,经单独的废气处理系统(水喷淋+酸液喷淋)处理后,通过1根30m高排气筒排放。(7)储罐呼吸废气:本项目****处理站内,产生量较小,进行无组织排放。(8)食堂油烟废气:食堂油烟经油烟净化器收集处理后通过建筑物内设置的专用烟道引至楼顶排放。 废水:(1)生活污水:产生的生活污水包括员工日常办公生活废水、食堂废水。经化粪池预处理后,通过市政****处理厂进行处理。(2)生产废水:本项目生产废水(含氟废水、含镍废水、一般废水及有机含氮废水),一般清洗废水经一般废水处理系统处理后纳管;碱性含氮废水、有机清洗废水经有机废水处理系统处理后纳管;含氟清洗废水经含氟废水处理系统处理后纳管;背面镍剥离清洗废水排放经含镍废水处理系统处理后纳管。(3)纯水制备废水:纯水制备废水直接纳管排放。(4)废气处理设施废水:含氟酸性废气喷淋废水经含氟废水处理系统处理后纳管,碱性废气喷淋废水、污水站废气喷淋废水经有机废水处理系统处理后纳管。(5)循环冷却水排污水:循环冷却水排污水,纳管排放。(6)锅炉排水:锅炉使用期间,需定期进行排水,纳管排放。(7)初期雨水:初期雨水经收集至初期雨水收集池后,通过****处理站一般废水处理系统进行处理后纳管排放。 噪声:项目营运过程产生的噪声主要为设备运转过程产生的噪声,相应措施有①优先选用噪声值较低的设备,从源头控制噪声的危害。采购性能好、噪声低的设备,以最大限度地降低噪声;②建设项目将产生噪声较高的冷冻机组、纯水机组等放置在车间一层,且设置单独隔间布置,墙体采用隔声材料,隔间设置隔声门;③建设项目将产生噪声较大的生箔机等设备进行固定,设置减震基座,减少设备振动产生的噪声,且设备底部设置减震基础;④建设项目空调机组放置在车间二层,主机组设置微穿孔板消声静压箱,产生噪声和振动较大的引风机设置隔声罩,设备入口软连接;⑤空调单独布置在二层的空调间内,空调底部设置减震基础;⑥同时尽量将所有设备均布置在车间内,以减轻噪声对环境的污染。加强对各类设备的管理和维护,避免设备不正常运转产生的噪声、安装减振等措施。 固废:一般固废和危废分类收集合理处理,危废委托危废资质单位处理。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 加强日常环保管理和环境风险防范与应急事件处置能力 | 实际建设情况:企业已编制突发环境风险应急预案,****环境局****分局备案,备案文号:330501-2025-031-M。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 8.3248 | 14.02 | 0 | 0 | 8.325 | 8.325 | |
| 0 | 3.33 | 5.608 | 0 | 8.412 | 3.33 | -5.082 | |
| 0 | 0.166 | 0.28 | 0 | 0.42 | 0.166 | -0.254 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.008 | 0.161 | 0 | 0.322 | 0.008 | -0.314 | / |
| 0 | 0.043 | 0.242 | 0 | 0.484 | 0.043 | -0.441 | / |
| 0 | 0.021 | 0.226 | 0 | 0.452 | 0.021 | -0.431 | / |
| 0 | 1.17 | 3.11 | 0 | 6.22 | 1.17 | -5.05 | / |
| 1 | 化粪池预处理 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1间接排放标准限值,其中生活污水中动植物油纳管标准执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中的三级标准;NH3-N、总磷纳管标准执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013) | 已建设 | 正常 | |
| 2 | 含氟废水处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020 | 已建设 | 正常 | |
| 3 | 一般废水处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020 | 已建设 | 正常 | |
| 4 | 有机废水处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020 | 已建设 | 正常 | |
| 5 | 含镍废水处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》GB 39731-2020 | 已建设 | 正常 |
| 1 | Scrubber处理+碱液喷淋塔 | 《大气污染物综合排放标准》GB 16297-1996 | 已建设 | 正常 | |
| 2 | 酸喷淋塔 | 《恶臭污染物排放标准》GB 14554-1993 | 已建设 | 正常 | |
| 3 | 活性炭吸附 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 已建设 | 正常 | |
| 4 | 电磁脉冲阀式除尘器 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 已建设 | 正常 | |
| 5 | 低氮燃烧器 | 《****办公室关于印发**市大气环境质量限期达标规划的通知》(湖政办发[2019]13号)、《锅炉大气污染物排放标准》(DB33/1415-2025) | 已建设 | 正常 | |
| 6 | 水喷淋塔+酸液喷淋塔 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93) | 已建设 | 正常 | |
| 7 | 油烟净化器 | 《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001) | 已建设 | 正常 |
| 1 | 项目营运过程产生的噪声主要为设备运转过程产生的噪声,相应措施有①优先选用噪声值较低的设备,从源头控制噪声的危害。采购性能好、噪声低的设备,以最大限度地降低噪声;②建设项目将产生噪声较高的冷冻机组、纯水机组等放置在车间一层,且设置单独隔间布置,墙体采用隔声材料,隔间设置隔声门;③建设项目将产生噪声较大的生箔机等设备进行固定,设置减震基座,减少设备振动产生的噪声,且设备底部设置减震基础;④建设项目空调机组放置在车间二层,主机组设置微穿孔板消声静压箱,产生噪声和振动较大的引风机设置隔声罩,设备入口软连接;⑤空调单独布置在二层的空调间内,空调底部设置减震基础;⑥同时尽量将所有设备均布置在车间内,以减轻噪声对环境的污染。加强对各类设备的管理和维护,避免设备不正常运转产生的噪声、安装减振等措施。 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) | 已落实 | 正常 |
| 1 | 要求企业做好土壤和地下水污染防治措施。 | 企业生产车间、危废仓库、污水处理站等的防渗措施已按照环评要求进行防渗措施建设。 |
| 1 | 加强固废污染防治。 | 一般固废和危废分类收集合理处理,危废委托危废资质单位处理。 |
| 1 | 加强日常环保管理和环境风险防范与应急事件处置能力 | 企业已编制突发环境风险应急预案,****环境局****分局备案,备案文号:330501-2025-031-M。 |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 本项目废水污染物 NH3-N、CODCr新增量需按照 1:1.5 进行区域替代削减。本项目 SO2、NOx、颗粒物及 VOCs 新增量需按照 1:2 进行区域替代削减。 | 验收阶段落实情况:已落实 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |