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半导体设备研发及产业化项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0214MADURFL34U | 建设单位法人：YUN BOK HYUN |
| 谢和 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| **市**区长**路52-15号 |
建设项目基本信息
| 半导体设备研发及产业化项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3562-C3562-半导体器件专用设备制造 |
| 建设地点： | ******区 ******区 |
| 经度:120.404167 纬度: 31.492500 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2025-03-26 |
| 锡数环许〔2025〕7045号 | 本工程排污许可证编号：****0214MADURFL34U001X |
| 2026-02-02 | 项目实际总投资(万元)：20000 |
| 200 | 运营单位名称：**** |
| ****0214MADURFL34U | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| ****0214MADURFL34U | 验收监测单位：****环境监测站 |
| 913********5680688 | 竣工时间：2025-11-20 |
| 2025-12-01 | 调试结束时间：2026-01-31 |
| 2026-02-10 | 验收报告公开结束时间：2026-03-13 |
| 验收报告公开载体： | http://bbs.****.cn/thread-****875-1-1.html |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年研发540批次（单批次使用硅片量25片）、年产蚀刻设备300台 | 实际建设情况：年研发540批次（单批次使用硅片量25片）、年产蚀刻设备300台 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| （1）半导体设备研发及生产：研发设计→样机装配→系统集成（外协）→调试→测试验证→定性、定样、标准化→零部件装配→系统集成（外协）→调试→拆机、包装；（2）半导体设备测试验证：硅片→硅片吹扫→（涂胶→压印固化脱模）/（涂胶→前烘→曝光→显影→后烘→硅片吹扫→ADI检查）→刻蚀→湿法去胶→切割→ADI检查→测试验证结束 | 实际建设情况：（1）半导体设备研发及生产：研发设计→样机装配→系统集成（外协）→调试→测试验证→定性、定样、标准化→零部件装配→系统集成（外协）→调试→拆机、包装；（2）半导体设备测试验证：硅片→硅片吹扫→（涂胶→压印固化脱模）/（涂胶→前烘→曝光→显影→后烘→硅片吹扫→ADI检查）→刻蚀→湿法去胶→切割→ADI检查→测试验证结束 |
| 生产设备减少2台涂胶机、1台压印固化脱模一体机，新增2台涂胶压印固化脱模一体机 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| （1）废水：化粪池（依托房东）。（2）废气：涂胶、压印固化脱模、前烘、后烘废气、湿法去胶（手动）废气、危废贮存（仓库及罐区）废气经1#燃烧水洗式尾气处理器+碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放；湿法去胶（自动）废气，经碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放；蚀刻废气经2#燃烧水洗式尾气处理器（两套并联）+碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放。（3）噪声：墙体隔声、橡胶隔振垫、基础减震，废气管道弹性软连接。（4）固废：按“减量化、**化、无害化”原则，落实各类固体废物的收集、贮存、处置和综合利用措施，固体废物零排放。一般工业固体废物贮存应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）的相关要求，危险废物贮存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的相关要求，防止产生二次污染。按规定建立健全一般工业固废、危险废物管理台账，依法申报固体废物管理计划。生活垃圾委托环卫部门处理，一般工业废物依法综合利用、处置，危险废物委托有危险废物经营资质的单位进行安全处理。 | 实际建设情况：（1）废水：生活污水经化粪池预处理后，与冷却废水、纯水制备废****处理厂集中处理。（2）废气：涂胶、压印固化脱模、前烘、后烘废气、湿法去胶（手动）废气、危废仓库废气经密闭收集，采取二级活性炭吸附处理后由25米高排气筒FQ2排放；蚀刻废气经密闭收集，采取等离子燃烧（2套并联）+二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ1排放；湿法去胶（自动）废气、危废贮存罐区废气经密闭收集，采取二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ1排放；少量未捕集的废气通过加强车间通风后无组织排放。（3）噪声：主要噪声源为各生产设备、辅助设备及废气处理设施风机；各产噪设备选型均采用低噪声设备，布局规划合理，并采取了墙体隔声、基础减振、降噪、距离衰减等措施降低噪声对外环境影响。（4）固废：本项目危险废物的收集和贮存符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)和《省生态环境厅关于印发的通知》（苏环办〔2024〕16号）的有关要求；一般固废的收集和贮存符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)。本项目产生的废木材、废塑料、废边角料、废过滤材料、废灯管等一般固废均出售给物资回收单位综合利用，不合格硅片及合格硅片返回给拟购买设备的客户；废显影液、废酸液、废抹布/手套、清洗废液、含有毒性的废包装物、废矿物油、油类废包装桶、喷淋废液、废活性炭等危险废物均委托有资质单位处置；生活垃圾委托环卫部门清运处理。 |
| ①废气处理设施由环评的“涂胶、压印固化脱模、前烘、后烘废气、湿法去胶（手动）废气、危废贮存（仓库及罐区）废气经1#燃烧水洗式尾气处理器+碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放；湿法去胶（自动）废气，经碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放；蚀刻废气经2#燃烧水洗式尾气处理器（两套并联）+碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放”调整为“涂胶、压印固化脱模、前烘、后烘废气、湿法去胶（手动）废气、危废仓库废气经二级活性炭吸附处理后由25米高排气筒FQ2排放；蚀刻废气经等离子燃烧（2套并联）+二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ1排放；湿法去胶（自动）废气、危废贮存罐区废气经二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ1排放”；②由于废气处理设施发生变动，固废种类及产生量相应发生变化：洗涤废液（HW34，900-349-34）15t/a不再产生，喷淋废液（HW35，900-399-35）的产生量由150t/a减少为130t/a，新增废活性炭（HW49，900-039-49）2.1458t/a。 | 是否属于重大变动：|
其他
| ①建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，严格落实报告表环境风险分析篇章中的事故应急防范、减缓措施，防止生产过程、储运过程及污染治理措施事故发生。按照《****园区突发环境事件应急预案编制导则》（DB32/T3795-2020）的要求另行编制企业环境风险应急预案，并报生态环境部门备案。②按《**省排污口设置及规范化整治管理办法》（苏环控〔1997〕122号）的要求规范化设置各类排污口和标识。③根据报告表推荐，全厂厂房外周边50米范围，不得**居民住宅区、学校、医院等环境保护敏感点。 | 实际建设情况：①企业已按要求在雨水排放口设置了截断阀，配备了350m3集污袋、应急泵、应急电源、沙袋等应急物资，能满足事故状态下的事故废水拦截及暂存需求；企业已制定突发环境事件应急预案并于2025年11月14****生态环境局备案（备案编号：320214-2025-323-L）。②本项目已按照《**省排污口设置及规范化整治管理办法》（苏环控﹝1997﹞122****环保局《环境保护图形标志实施细则（试行）》、《危险废物识别标志设置技术规范》（HJ1276-2022）等要求设置了废水、废气、噪声、固废等排污口环保标志。③全厂厂房外周边50米卫生防护距离范围内无环境保护敏感点。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.2611 | 0.3134 | 0 | 0 | 0.261 | 0.261 | |
| 0 | 0.2918 | 0.494 | 0 | 0 | 0.292 | 0.292 | |
| 0 | 0.027 | 0.036 | 0 | 0 | 0.027 | 0.027 | |
| 0 | 0.0037 | 0.0054 | 0 | 0 | 0.004 | 0.004 | |
| 0 | 0.0441 | 0.0585 | 0 | 0 | 0.044 | 0.044 | |
| 0 | 0.0718 | 0.337 | 0 | 0 | 0.072 | 0.072 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0079 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0009 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0161 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0127 | 0.0163 | 0 | 0 | 0.013 | 0.013 | / |
| 0 | 0.0002 | 0.0019 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0021 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0273 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.003 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 化粪池（依托房东） | 《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020） | 生活污水经化粪池预处理后，与冷却废水、纯水制备废****处理厂集中处理 | 已监测。监测点位：污水总排口；监测项目：pH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮；监测频次：连续2天，每天监测4次（等时间间隔采样） |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 涂胶、压印固化脱模、前烘、后烘废气、湿法去胶（手动）废气、危废贮存（仓库及罐区）废气经1#燃烧水洗式尾气处理器+碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放；湿法去胶（自动）废气，经碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放；蚀刻废气经2#燃烧水洗式尾气处理器（两套并联）+碱液喷淋塔处理后，通过25m高排气筒FQ1排放 | 非甲烷总烃、异丙醇、硫酸雾、颗粒物、氟化物、氯化氢、氮氧化物、氯气参照执行**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3中相应标准，二氧化硫参照执行**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准，溴化氢参照执行**市地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准 | 涂胶、压印固化脱模、前烘、后烘废气、湿法去胶（手动）废气、危废仓库废气经二级活性炭吸附处理后由25米高排气筒FQ2排放；蚀刻废气经等离子燃烧（2套并联）+二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ1排放；湿法去胶（自动）废气、危废贮存罐区废气经二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ1排放 | 已监测。监测点位1：排气筒FQ1，监测项目：硫酸雾、氯化氢、二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、氟化物、氯气、溴化氢。监测点位2：排气筒FQ2，监测项目：非甲烷总烃、异丙醇。监测点位3：厂界上风向设置1个参照点、下风向设置3个参照点，监测项目：非甲烷总烃、硫酸雾。监测点位4：车间外设置1个监测点，监测项目：非甲烷总烃。监测频次：连续2天，每天监测3次 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 墙体隔声、橡胶隔振垫、基础减震，废气管道弹性软连接 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准 | 本项目主要噪声源为各生产设备、辅助设备及废气处理设施风机；各产噪设备选型均采用低噪声设备，布局规划合理，并采取了墙体隔声、基础减振、降噪、距离衰减等措施降低噪声对外环境影响 | 已监测。监测点位：厂界外四周各布置1个噪声监测点，监测项目：连续等效（A）声级。监测频次：连续2天，每天昼间监测1次 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 按“减量化、**化、无害化”原则，落实各类固体废物的收集、贮存、处置和综合利用措施，固体废物零排放。一般工业固体废物贮存应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）的相关要求，危险废物贮存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的相关要求，防止产生二次污染。按规定建立健全一般工业固废、危险废物管理台账，依法申报固体废物管理计划。生活垃圾委托环卫部门处理，一般工业废物依法综合利用、处置，危险废物委托有危险废物经营资质的单位进行安全处理。 | 企业危险废物的收集和贮存符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)和《省生态环境厅关于印发的通知》（苏环办〔2024〕16号）的有关要求；一般固废的收集和贮存符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)。本项目产生的废木材、废塑料、废边角料、废过滤材料、废灯管等一般固废均出售给物资回收单位综合利用，不合格硅片及合格硅片返回给拟购买设备的客户；废显影液、废酸液、废抹布/手套、清洗废液、含有毒性的废包装物、废矿物油、油类废包装桶、喷淋废液、废活性炭等危险废物均委托有资质单位处置；生活垃圾委托环卫部门清运处理。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，严格落实报告表环境风险分析篇章中的事故应急防范、减缓措施，防止生产过程、储运过程及污染治理措施事故发生。按照《****园区突发环境事件应急预案编制导则》（DB32/T3795-2020）的要求另行编制企业环境风险应急预案，并报生态环境部门备案。 | 企业已按要求在雨水排放口设置了截断阀，配备了350m3集污袋、应急泵、应急电源、沙袋等应急物资，能满足事故状态下的事故废水拦截及暂存需求；企业已制定突发环境事件应急预案并于2025年11月14****生态环境局备案（备案编号：320214-2025-323-L）。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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