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全自动沉积系统（JJ20260249）采购公告

公告-招标公告

重庆 -重庆

发布时间： 2026年03月19日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

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招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

全自动沉积系统	****
2026-03-19 11:19:57	2026-03-24 13:00:00
****	货到验收合格付款

	合同签订30个工作日内
￥




****科学中心
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

全自动沉积系统

套

其他电工、电子生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

麦科诺

TRP450-F

￥

一、规格和技术参数 1、真空腔体：直径17"腔，带有4"观察视窗。支持≥4套2"的靶枪。 2、腔门保护：腔门的观察视窗需配套遮板，可双向移动，用于保护观察视窗，避免被镀膜后导致不能清洗观看腔体内的工艺状况。 ▲3、沉积阴极源：包含≥4个2"偏轴布局的平面沉积阴极源，轴封密封，阴极源跟样品之间的间距可手动调节，配套电源可支持序列沉积。 ▲4、共焦设计：平面沉积采用共焦设计，每一个阴极源跟基片之间的间距和角度调节采用金属焊接波纹管。 ▲5、阴极源的稳定性设计：所有的阴极源需带冷却水水冷保护，可以长期稳定使用，为**使用寿命，阴极源磁钢与水与真空隔离，并且可调节阴极源的磁场强度，阴极的外罩直径不大于73mm，屏蔽罩采用三段调节固定，摆头采用焊接波纹管方式，调节角度0-45度，竞标时提供阴极源设计图纸或照片。 ▲6、控制方式：采用PLC+触摸屏自动控制方式。采用设定配方工艺一键式全自动镀膜方式。真空抽气、取样、关机一键式操作方式。具有工艺配方设置功能，不少于100条设置工艺。具有配方保存、下载、上载、复制等功能。采用15寸触摸屏 7、工艺气路： 2路气体，响应配套2个质量流量控制器，包含不锈钢气体管路和气动隔膜截止阀。精确控制工艺气体流量，其中Ar用于溅射的惰性气体。 ▲8、真空泵：≥700L/sec抽速的分子泵+9L机械泵+电动插板阀。系统通过PLC控制实现工艺腔体的全自动压力调节，快速稳定。 9、真空：极限真空优于4x10-5Pa。腔体与分子泵之间通过过滤装置采用直连设计，腔体在30分钟内即可达到10-6Torr级别的工艺真空。 ▲10、提供滤波器表面镀膜20um铜膜工艺样品或图片 ▲11、立柜：欧标一体化设计、铝质型材台式柜体。 ▲19、交付期：30日第二部分：商务要求 1.提供公司资质文件，如营业执照。 2.三个产品不可单独竞价，需统一竞价。 3.提供仪器设备的中**装、操作手册 4.提供到用户现场安装、校准与试运行服务：应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查，并出具检验证明，如有缺失，应负责赔偿。 5.为用户培训使用仪器的工作人员。其培训内容指的是仪器设备的基本原理、安装、调试、操作使用和日常保养维修等。 6.仪器设备的保修期为1年，在保修期内，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在2小时之内给予答复，并给出解决方案。

电话支持:7x24小时;质保期限:1年;响应时间:2小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;