华卓精科半导体装备关键零部件研发制造二期变更项目

华卓精科半导体装备关键零部件研发制造二期变更项目

建设地点：****开发区路**E7M1地块

公示时间：2026-03-20至2026-03-26

受理时间：2026-03-13

项目概况：项目****开发区路**E7M1地块，建筑面积68935.43平方米，主要建设生产厂房、研发试验厂房、倒班宿舍、地下车库、化学品库。生产线均位于生产厂房内，研发试验厂房用于研发办公，不进行生产及实验。项目建成后主要产品及产能为：晶圆堆叠设备研发制造30台/年，激光退火设备研发制造40台/年，静电卡盘研发制造1000套/年，运动平台产品研发制造500套/年，Sorter—EFEM研发制造200套/年，激光滑片设备研发制造20套/年，隔振器研发制造200套/年。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：（1）废气治理措施可行性及影响分析结论 本项目排放的废气中氟化物、氮氧化物、氨、非甲烷总烃、硫酸雾、氯化氢、颗粒物均满足排放浓度满足**市《大气污染物综合排放标准》(DB11/501-2017)中Ⅱ时段中标准限值。 （2）废水治理措施可行性及影响分析结论 本项目排水主要为员工的生活污水和生产废水。 建设单位将酸洗、碱洗、有机物清洗等工序产生的酸洗废液、碱洗废液、有机物清洗废液及酸/碱液喷淋废气净化设施废水集中收集后作为危废处置，不向外排放。外排废水经预处理后排入****公司****处理厂，本项目外排废水能满足**市《水污染物综合排放标准》（DB11/307-2013）中“排入公共污水处理系统的水污染排放限值”。（3）噪声污染治理措施可行性及环境分析结论 本项目生产设备均安装生产车间内，作业时生产车间门窗关闭，充分利用建筑隔声；拟优先选用低噪低振设备；针对不同设备采取隔声、减振以及消声的降噪措施，并进行定期维护。经过传播距离衰减和生产车间墙壁隔声等措施后，厂界噪声预测值均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准限值。 （4）固废治理措施可行性及影响分析结论 本项目固体废物主要为生活垃圾、一般工业固废、危险固废。 生活垃圾：生活垃圾主要来自工作人员产生的生活垃圾，****公司统一清运，日产日清。 一般工业固废主要为生产过程中产生的废包装、废边角料、废反渗透膜，可回****回收部门，不可回收部分与生活垃****公司清运。 危险固废由有资质单位定期清运。

****政府所作出的相关环境保护措施承诺文件：

公众参与情况：2026-03-13至2026-03-19****政府网站公示，期间未收到反馈意见

联系人：王志强

联系电话：135****1849

环评单位名称：**市****公司

听证权利告知：依据《中华人民**国行政许可法》，自公示之日起五日内，申请人及属于本项目评价范围内的利害关系人，可向我局提出听证申请

公示期间，公众可以向建设单位或环评单位咨询建设项目环境影响有关情况。

审批部门：****开发区行政审批局

邮政编码：100176

邮寄地址：荣华中路15号5层

传真电话：****9723

设定依据：1、《中华人民**国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民**国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民**国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民**国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民**国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民**国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民**国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。

行政相对人名称：**华卓****公司

行政相对人统一社会信用代码：911********05245XJ