南京大学电子束蒸发镀膜机

发布时间: 2026年03月20日
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****2026年4至6月政府采购意向-****电子束蒸发镀膜机 详细情况
****电子束蒸发镀膜机
项目所在采购意向: ****2026年4至6月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: ****电子束蒸发镀膜机
预算金额: 150.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2402 真空应用设备
采购需求概况 :
****拟采购电子束蒸发镀膜机一台,用于实验室制备包括金、钛、铂等常用金属在内的高质量电极材料。主要采购需求如下:(1)工艺腔配备4000l/s冷泵和1000l/min油泵;(2)工艺腔配备一套真空计,包括前级真空计、全量程真空计、大气压传感器;(3)工艺腔配备1个6坩埚电子枪,坩埚容量15cc,电子枪电源6kW;(4)工艺腔配备1个石英晶振控制器和1个石英晶振探头,石英晶振监控精度:±0.015A/s,显示精度:0.01A/s;(5)工艺腔配备6英寸旋转样品台,转速5~20rpm,样品台可水冷,冷却温度范围:5-90℃;(6)工艺腔极限真空优于2x10-7Torr;(7)6英寸镀膜均匀性优于±3%;(8)质保期不少于一年,提供原厂售后服务。
预计采购时间: 2026-04
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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