大尺寸玻璃片表面处理代加工

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大尺寸玻璃片表面处理代加工 一、具体研究内容如下： 1、玻璃蚀刻工艺开发：玻璃片的粗化工艺可以为后续化学铜工艺所需的钯离子提供附着点，同时为化学铜层提供足够的结合力支撑。本项目需研究玻璃的粗化的工艺流程，不同流程的对最终效果的影响，研究玻璃表面形成蜂窝状结构的影响因子，研究和确认玻璃粗化工艺的窗口。 2、化学铜工艺的开发：开发适用于玻璃片化学铜工艺，研究能实现低应力的化学铜技术，保证镀层结合力；研究影响化学铜厚度和还原能力的因素，满足不同厚度的需求；针对含有不同尺寸、深宽比的TGV孔结构的玻璃圆片，研究影响化学铜活性和镀层覆盖性的影响因素，避免出现漏镀、镀层不连续的现象。 3、玻璃圆片化学铜打样：配方甲方研究进度，完成不同玻璃材质、不同尺寸不同玻璃厚度的、不同TGV孔型的打样，避免出现裂片，保证小批量良率，确定工艺装置方案，支撑甲方玻璃封装基板关键技术攻关。 二、应达到的技术指标和参数 1、玻璃的粗糙度Ra值在100-300nm范围，单面的玻璃减薄≤5μm； 2、化学铜层厚度可以满足0.1~1.5μm的需要。 3、化学铜层的结合力采用百格法测试，可以满足5B的检测标准。 4、化学铜需满足TGV深径比在1：1~10：1的需求，镀层连续性良好，在显微镜观察TGV切片时，铜层不能有最大尺寸超过5μm的片状或环状漏镀现象。 5、微蚀或化学铜工艺需满足100μm~1000μm厚度的玻璃基板的加工能力。 三、研究开发计划 1、合同签订第1个月至第3个月 按照甲方需求，完成不小于3种玻璃材质玻璃的粗化工艺开发，确定玻璃粗化工艺流程，研究工艺中每个步骤对粗化工艺的影响，完成粗化工艺优劣的基本表征。完成不小于3种玻璃材质3不同尺寸规格的玻璃化学铜工艺的开发与样品加工，其中至少包括1种TGV孔结构，研究活化钯的工艺和化学铜工艺，明确对化学铜覆盖性或连续性的影响因素，确认化学铜的应力对结合力的影响，确认化学铜的灌孔能力以实现对不同TGV孔型的孔内覆盖；确认和优化化学铜厚度能力，本阶段输出化镀铜工艺开发试验报告，至少交付完成化学镀铜工艺的玻璃圆片100片。 2、合同签订第4个月至第8个月 对玻璃化学铜工艺进行小批量放大测试，针对不同尺寸、不同厚度的玻璃采用相应的挂具或者工艺装置方案，避免出现结合力不良、覆盖性不足、高比例的裂片等工艺问题，解决放大测试过程中的技术问题，至少交付完成化学镀铜工艺的玻璃圆片150片，至少包括2种TGV结构，输出玻璃化镀铜工艺装置方案设计报告。