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矽翔微机电系统（成都）有限公司微机电系统产品产业化基地项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 913********8495203 | 建设单位法人：黄立基 |
| 黄学明 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| **市**区黄甲街道付家街 388 号****基地 B09 号楼 |
建设项目基本信息
| ****微机****基地项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:083-通用仪器仪表制造；专用仪器仪表制造；钟表与计时仪器制造；光学仪器制造；衡器制造；其他仪器仪表制造业 | 行业类别（国民经济代码）：C4011-C4011-工业自动控制系统装置制造 |
| 建设地点： | ******区 ******区 |
| 经度:103.959444 纬度: 30.454167 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2025-04-10 |
| 成双环承诺环评审〔2025〕16号 | 本工程排污许可证编号：913********8495203001Y |
| 2025-05-30 | 项目实际总投资(万元)：20000 |
| 32 | 运营单位名称：**** |
| 913********8495203 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| 913********8495203 | 验收监测单位：**众****公司 |
| ****0107MA6C6FXB2U | 竣工时间：2025-10-29 |
| 2026-01-04 | 调试结束时间：2026-04-01 |
| 2026-02-25 | 验收报告公开结束时间：2026-03-24 |
| 验收报告公开载体： | https://www.****.com/content/106250.html |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 租赁 B09 厂房建设微机****基地，进行微机电产品系统研发、 制造，****公司总部。建筑面积 12922.48 平方米，框架结构。产品名称：MEMS 质量流量计。主要设备选型：全自动固晶机、邦定机、自动点胶机、伺服点胶机、 高低温交变试验箱、UVO 紫外线清洗机、空压机组、复合真空校准装置、音速 喷嘴流量标准装置、活塞式流量标准装置、FLUKE 高精度流量标准装置、标准 表法流量标准装置、氦气检漏仪。本项目 MEMS 质量流量计年产量可达 20 万台。 | 实际建设情况：租赁 B09 厂房建设微机****基地，进行微机电产品系统研发、 制造，****公司总部。建筑面积 12922.48 平方米，框架结构。产品名称：MEMS 质量流量计。主要设备选型：全自动固晶机、邦定机、自动点胶机、伺服点胶机、 高低温交变试验箱、UVO 紫外线清洗机、空压机组、复合真空校准装置、音速 喷嘴流量标准装置、活塞式流量标准装置、FLUKE 高精度流量标准装置、标准 表法流量标准装置、氦气检漏仪。本项目 MEMS 质量流量计年产量可达 20 万台。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 本次验收范围包括生产区及已建工程涉及的污染防治设施，项目运营期主要从事微机电产品系统研发、制造。生产工艺及产污位置，详见图2-2。 图2-2 MEMS流量计生产工艺流程 工艺流程简述： 1、原材料入库：在万级洁净区内进行拆包，并简单观察电路板后送入下一环节，此过程产生废包材，洁净区产生废滤材； 2、邦定：在千级洁净区内设置全自动固晶机（设备型号TOSAN-1108），使用固晶/邦定胶（ABLEBOND 84-3J）将MEMS芯片粘接在PCB上，室温下操作，单个固晶过程约3-5s，固定后的PCB板立即送入JC101型电热鼓风干燥箱内烘干，烘干时间约1h，烘干温度约100℃，产生邦定废气G1和空胶管，洁净区机组运行产生噪声。 3、灌封：在千级洁净区内使用伺服点胶机将灌封胶点在芯片PCB与主体的连接处，用于密封，室温下操作，固定后的PCB板放入JC101型电热鼓风干燥箱内烘干，烘干时间约1h，烘干温度约100℃，产生灌封废气G2和空胶管。灌封后使用老化机老化。 4、清洗：在千级洁净区内使用UVO紫外线清洗机和洁净区外使用无水乙醇清洁MEMS芯片表面，室温下操作，设置固定工位集气罩收集，此部分采用抹布无纺布擦去表面乙醇，产生清洗废气G3和沾胶的废抹布，废酒精瓶。 5、测试：使用INFICON氦气检漏仪对MEMS电路和气通道进行检漏，此过程产生废弃电路板。 6、（1）原材料入库：外购控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板和电子元件。 （2）外委焊接：将控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板和电子元件外委焊接。 （3）检查、补焊：将外委焊接电子元件的控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示 PCB 板，检测手工补焊，此过程产生废气和焊渣。 （4）老化测试：对补焊后制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板进行老化测试，合格品中10%进入三防漆涂覆，不合格品作为废电路板废弃。 7、涂三防漆及固化：将10%的控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板送入三防漆自动涂覆机，此过程在涂覆机密闭舱室内进行，此过程产生废气，废三防漆桶。使用紫外线固化机对涂胶后的PCB板固化，其余90%的电路板不进行此步骤直接进行组装。 8、组装：将PCB板，MEMS电路板，机壳（医用酒精擦拭过的外壳）组装成气体流量计，此过程产生擦拭废气和废抹布； 9、检测：使用空压机、储气罐、DRUCK压力控制器、INFICON氦气检漏仪、复合真空校准装置、高压主动活塞式气体流量标准装置、熔体流动速率测试机、显微镜，主要检测流量计气密性，以及标定量程，均为物理过程，检验不合格的报废品按照废电路板处置，空压机运行过程产生噪声。 10、雕刻铭牌：使用光纤激光打标机在机壳刻录产品铭牌，每个铭牌刻录面积1cm2，产生VOCs。 11、包装：刻录后使用纸箱包装，此过程产生废气，废包装材料。 12、入库/外售：包装后的产品外售。 | 实际建设情况：本次验收范围包括生产区及已建工程涉及的污染防治设施，项目运营期主要从事微机电产品系统研发、制造。生产工艺及产污位置，详见图2-2。 图2-2 MEMS流量计生产工艺流程 工艺流程简述： 1、原材料入库：在万级洁净区内进行拆包，并简单观察电路板后送入下一环节，此过程产生废包材，洁净区产生废滤材； 2、邦定：在千级洁净区内设置全自动固晶机（设备型号TOSAN-1108），使用固晶/邦定胶（ABLEBOND 84-3J）将MEMS芯片粘接在PCB上，室温下操作，单个固晶过程约3-5s，固定后的PCB板立即送入JC101型电热鼓风干燥箱内烘干，烘干时间约1h，烘干温度约100℃，产生邦定废气G1和空胶管，洁净区机组运行产生噪声。 3、灌封：在千级洁净区内使用伺服点胶机将灌封胶点在芯片PCB与主体的连接处，用于密封，室温下操作，固定后的PCB板放入JC101型电热鼓风干燥箱内烘干，烘干时间约1h，烘干温度约100℃，产生灌封废气G2和空胶管。灌封后使用老化机老化。 4、清洗：在千级洁净区内使用UVO紫外线清洗机和洁净区外使用无水乙醇清洁MEMS芯片表面，室温下操作，设置固定工位集气罩收集，此部分采用抹布无纺布擦去表面乙醇，产生清洗废气G3和沾胶的废抹布，废酒精瓶。 5、测试：使用INFICON氦气检漏仪对MEMS电路和气通道进行检漏，此过程产生废弃电路板。 6、（1）原材料入库：外购控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板和电子元件。 （2）外委焊接：将控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板和电子元件外委焊接。 （3）检查、补焊：将外委焊接电子元件的控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示 PCB 板，检测手工补焊，此过程产生废气和焊渣。 （4）老化测试：对补焊后制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板进行老化测试，合格品中10%进入三防漆涂覆，不合格品作为废电路板废弃。 7、涂三防漆及固化：将10%的控制PCB板，输入输出接口PCB板，显示PCB板送入三防漆自动涂覆机，此过程在涂覆机密闭舱室内进行，此过程产生废气，废三防漆桶。使用紫外线固化机对涂胶后的PCB板固化，其余90%的电路板不进行此步骤直接进行组装。 8、组装：将PCB板，MEMS电路板，机壳（医用酒精擦拭过的外壳）组装成气体流量计，此过程产生擦拭废气和废抹布； 9、检测：使用空压机、储气罐、DRUCK压力控制器、INFICON氦气检漏仪、复合真空校准装置、高压主动活塞式气体流量标准装置、熔体流动速率测试机、显微镜，主要检测流量计气密性，以及标定量程，均为物理过程，检验不合格的报废品按照废电路板处置，空压机运行过程产生噪声。 10、雕刻铭牌：使用光纤激光打标机在机壳刻录产品铭牌，每个铭牌刻录面积1cm2，产生VOCs。 11、包装：刻录后使用纸箱包装，此过程产生废气，废包装材料。 12、入库/外售：包装后的产品外售。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 废气：经万向集气罩（14个）和管道收集至楼顶1套滤芯除尘器+二级活性炭处理后经DA001排气筒排放（排气筒高度 25m） 废水：****园区预处理池（540m3/d）收集处理后，排入园区污水管网 噪声：基础减振、距离衰减、厂房隔声 固废：生产过程中产生的一般固废，分类收集，一般固废暂存间（厂区2楼中部北侧10.03m2）暂存，****收购站、环卫清运处置。其中，生活垃圾经集中收集后，交由环卫部门统一清运处理；未沾染危险物质的废包装材料，主要为各类原辅料使用过程中产生的废包装材料，包括废弃纸箱、纸盒、塑料包装物等，****回收站。项目在北侧2楼设置1个占地面积约为12m2的危废暂存间。危险废物分类收集，分类暂存在危废暂存间，定期交由有危废处理资质的单位处理。 | 实际建设情况：废气：经万向集气罩（18个）和管道收集至楼顶1套滤芯除尘器+二级活性炭处理后经DA001排气筒排放（排气筒高度30m） 废水：****园区预处理池（540m3/d）收集处理后，排入园区污水管网 噪声：基础减振、距离衰减、厂房隔声 固废：生产过程中产生的一般固废，分类收集，一般固废暂存间（厂区2楼中部北侧10.03m2）暂存，****收购站、环卫清运处置。其中，生活垃圾经集中收集后，交由环卫部门统一清运处理；未沾染危险物质的废包装材料，主要为各类原辅料使用过程中产生的废包装材料，包括废弃纸箱、纸盒、塑料包装物等，****回收站。项目在北侧2楼设置1个占地面积约为12m2的危废暂存间。危险废物分类收集，分类暂存在危废暂存间，定期交由有危废处理资质的单位处理。 |
| 排气筒高度实际为30m，万向集气罩实际为18个，因酒精擦拭和焊接工位分别新增2个，故对应的万向集气罩也分别增加2个，废气经万向集气罩（18 个）、管道收集至楼顶一套滤芯除尘器+二级活性炭处理后排气筒（DA001）排放（排气筒高度30m）。 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.1275 | 0 | 0 | 0 | 0.128 | 0.128 | |
| 0 | 0.2547 | 0 | 0 | 0 | 0.255 | 0.255 | |
| 0 | 0.0364 | 0 | 0 | 0 | 0.036 | 0.036 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 2.8125 | 0 | 0 | 0 | 2.813 | 2.813 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 园区预处理池 | 《污水综合排放标 准》(GB8978-1996)三级标准 | 依托园区预处理池（540m3/d）收集处理后，排入园区污水管网 | **众****公司于2026年1月15日、16日进行了现场采样监测 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 滤芯除尘器+二级活性炭 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《**省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》（DB51/2377-2017） | 废气经万向集气罩（18个）和管道收集至楼顶1套滤芯除尘器+二级活性炭处理后经DA001排气筒排放（排气筒高度30m） | **众****公司于2026年1月15日、16日进行了现场采样监测 |
表3 噪声治理设施
| 1 | / | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中表1中3类标准限值 | 基础减振、距离衰减、厂房隔声 | **众****公司于2026年1月15日、16日进行了现场采样监测 |
表4 地下水污染治理设施
| 1 | 项目设置分区防渗，重点防渗区：危废暂存间；一般防渗区：其他生 产车间；简单防渗区：除重点防渗和一般防渗以外区域 | 项目设置分区防渗，重点防渗区：危废暂存间；一般防渗区：其他生 产车间；简单防渗区：除重点防渗和一般防渗以外区域 |
表5 固废治理设施
| 1 | 一般工业****回收站、或由环卫部门处置；危险废物暂 存在危废暂存间后，交资质单位处置。 | 一般工业****回收站、或由环卫部门处置；危险废物暂 存在危废暂存间后，交资质单位处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 一般工业****回收站、或由环卫部门处置；危险废物暂 存在危废暂存间后，交资质单位处置。 | 一般工业****回收站、或由环卫部门处置；危险废物暂 存在危废暂存间后，交资质单位处置。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 供水：来自园区市政自来水管网 供电：来自园区市政电网 生活污水：依托园区预处理池（540m3/d）收集处理后，排入园区污水管网 | 验收阶段落实情况：供水：来自园区市政自来水管网 供电：来自园区市政电网 生活污水：依托园区预处理池（540m3/d）收集处理后，排入园区污水管网 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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