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高真空电阻蒸发镀膜机（JJ20260293）采购公告

公告-招标公告

重庆 -重庆

发布时间： 2026年03月26日

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电阻蒸发镀膜机采购公告

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空电阻蒸发镀膜机	****
2026-03-26 09:01:59	2026-03-31 11:00:00
****	货到验收合格付款

	合同签订30个工作日内
￥




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空电阻蒸发镀膜机

台

电池生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

泰科诺

ZHD300

￥

1.真空腔室：腔室尺寸≥Φ290*H290mm，SUS304优质不锈钢真空腔室，镀膜腔室（包括管道、连接法兰等）均进行清洁处理，内表面电抛等处理，以减少“出气”量，有利于真空度的提高及耐腐蚀，所有焊缝连接采用氩弧焊接技术，内表面抛光处理； 2.基片台：不锈钢抽屉式结构，可从基片架组件中取出，基片台尺寸有效面积≥Φ100mm，基片可旋转，旋转转速0～20转/分钟，连续可调；主轴磁流体密封，基片台带有间接水冷温度10℃至25℃可调； 3.蒸发源及电源：金属蒸发源：水冷铜电极≥2组；金属蒸发源配套电源：功率≥3KW，≥1台； 4.真空系统： ≥700L/s高性能脂润滑分子泵抽速+≥3L/s直联高速旋片式真空泵； 5.真空极限与抽速：极限真空度≤5.0×10-5Pa（设备空载，抽真空24小时）；抽速从大气抽至5.0×10-4Pa≤30min（设备空载）； 6.膜厚均匀性：≤±5%（单源蒸镀，基片台Φ100mm范围内）； 7.膜厚监测系统：膜厚仪数量≥1台，探头数量≥1只，晶振片数量≥1盒； 8.控制方式：PLC+触摸屏控制； 9.报警及保护：在缺水、水压过低等情况下的报警系统；完善的逻辑程序互锁保护系统； 10.配套产品：适配型号水机≥1台

电话支持:7x24小时;质保期限:3年;响应时间:1小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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招标进度跟踪

2026-03-26

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