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浙江六方半导体科技有限公司（西子）半导体芯片外延托盘项目（先行）

审批

浙江-绍兴-诸暨市

发布时间： 2026年03月26日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0681MA2BDN0H3P	何少龙
李**	省市**市
三马厂区：省市陶朱街道千禧路9号西子厂区：省市陶朱街道新亭路6号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****（西子）半导体芯片外延托盘项目（先行）

2021版本:082-通信设备制造；广播电视设备制造；雷达及配套设备制造；非专业视听设备制造；其他电子设备制造	C3990-C3990-其他电子设备制造
	省市市三马厂区：省市陶朱街道千禧路9号西子厂区：省**市陶朱街道新亭路6号
经度:120.22384 纬度: 29.77348	****环境局
	2024-11-15
诸环建〔2024〕132号	****
2025-10-30	3000
70	****
****0681MA2BDN0H3P	中**公司
****0681MA2BDFYY79	中**公司
****0681MA2BDFYY79	2025-03-30
2025-03-31	2026-04-30
2026-02-14	2026-03-19
	https://www.**.com/newsinfo/**995.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

扩建	扩建
无变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

三马厂区：SiC涂层石墨载盘（托盘）3000套/年（其中1400套为现有）；西子厂区：SiC涂层石墨载盘（托盘）3900套/年，TaC涂层石墨载盘（托盘）14000套/年	三马厂区：SiC涂层石墨载盘（托盘）1400套/年（现有）西子厂区：SiC涂层石墨载盘（托盘）3250套/年，TaC涂层石墨载盘（托盘）12830套/年
本项目为扩建项目，根据调查，主要生产设备为真空发热炉，三马厂区现有内容于2024年6月完成自主验收，扩建内容暂未建设，故本次验收未对三马厂区进行验收监测；西子厂区目前暂未建设2台真空发热炉（TaC和SiC各1台暂未建设），故为先行验收，本项目三马厂区不进行SiC涂层石墨载盘（托盘）的生产，西子厂区可达到年产SiC涂层石墨载盘（托盘）3250套，TaC涂层石墨载盘（托盘）12830套的生产能力。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

SiC涂层石墨载盘（托盘）生产工艺；TaC涂层石墨载盘（托盘）生产工艺	SiC涂层石墨载盘（托盘）生产工艺；TaC涂层石墨载盘（托盘）生产工艺
西子厂区所用的SiC基材购买为成品，故清洗工序暂未实施，其他无变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

三马厂区：化粪池、粉尘处理装置、尾气处理塔吸附处理+碱液喷淋西子厂区：絮凝沉淀、化粪池、旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	本项目三马厂区扩建内容暂未实施；西子厂区：絮凝沉淀、化粪池、旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统
本项目三马厂区扩建内容暂未实施。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0
0.063	0.272	0.063	0.063
0.003	0.027	0.003	0.003
0	0	0	0
0	0	0	0
180	0	180	180	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.001	0.211	0.001	0.001	/
0.001	0.002	0.001	0.001	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

化粪池、絮凝沉淀

《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中的三级排放标准；《工业企业废水氨、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中的标准限值要求；《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）中B级标准要求。

化粪池、絮凝沉淀

废水综合排放口两天pH值范围为8.4-8.5；化学需氧量的最大日均浓度为166mg/L；悬浮物的最大日均浓度为39mg/L；氨氮的最大日均浓度为25.5mg/L；石油类的最大日均浓度为0.65mg/L；总磷的最大日均浓度为2.57mg/L；总氮的最大日均浓度为39.5mg/L。验收监测期间废水综合排放口两天化学需氧量、悬浮物、石油类的最大日均浓度和pH均符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中的三级排放标准；氨氮、总磷的最大日均浓度符合《工业企业废水氨、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中的标准限值要求；总氮的最大日均浓度符合《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）中B级标准要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA001气相沉积废气排气筒出口废气排放总量为3618N.d.m3/h，非甲烷总烃两天最大日均排放浓度3.24mg/m3，排放速率0.012kg/h；颗粒物（炭黑尘）两天最大日均排放浓度3.3mg/m3，排放速率0.012kg/h；氯化氢两天最大日均排放浓度4.30mg/m3，排放速率0.016kg/h。 DA001气相沉积废气排气筒出口排放的非甲烷浓烃、颗粒物（炭黑尘）和氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。
2	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA002气相沉积废气排气筒出口废气排放总量为3850N.d.m3/h，非甲烷总烃两天最大日均排放浓度2.98mg/m3，排放速率0.012kg/h；颗粒物（炭黑尘）两天最大日均排放浓度4.0mg/m3，排放速率0.015kg/h；氯化氢两天最大日均排放浓度4.90mg/m3，排放速率0.019kg/h。 DA002气相沉积废气排气筒出口排放的非甲烷总烃、颗粒物（炭黑尘）和氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。
3	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA003气相沉积废气排气筒出口废气排放总量为2432N.d.m3/h，非甲烷总烃两天最大日均排放浓度3.14mg/m3，排放速率8.08×10-3kg/h；颗粒物（炭黑尘）两天最大日均排放浓度3.5mg/m3，排放速率9.00×10-3kg/h；氯化氢两天最大日均排放浓度4.40mg/m3，排放速率0.011kg/h。 DA003气相沉积废气排气筒出口排放的非甲烷浓烃、颗粒物（炭黑尘）和氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。
4	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA004气相沉积废气排气筒出口废气排放总量为3148N.d.m3/h，非甲烷总烃两天最大日均排放浓度3.34mg/m3，排放速率0.010kg/h；颗粒物（炭黑尘）两天最大日均排放浓度2.8mg/m3，排放速率8.69×10-3kg/h；氯化氢两天最大日均排放浓度4.79mg/m3，排放速率0.015kg/h。 DA004气相沉积废气排气筒出口排放的非甲烷浓烃、颗粒物（炭黑尘）和氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。
5	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA005沉积车间废气排气筒出口废气排放总量为19984N.d.m3/h氯化氢两天最大日均排放浓度4.73mg/m3，排放速率0.095kg/h。 DA005沉积车间废气排气筒出口排放的氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。
6	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA006沉积车间废气排气筒出口废气排放总量为19524N.d.m3/h氯化氢两天最大日均排放浓度5.94mg/m3，排放速率0.116kg/h。 DA006沉积车间废气排气筒出口排放的氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。
7	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。	旋流板塔（碱喷淋）+填料塔（碱喷淋）废气吸收处理系统	监测期间，DA007沉积车间废气排气筒出口废气排放总量为19574N.d.m3/h氯化氢两天最大日均排放浓度5.25mg/m3，排放速率0.103kg/h。 DA007沉积车间废气排气筒出口排放的氯化氢两天最大日均排放浓度和排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值要求。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

隔声降噪措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

1、在满足生产需要的前提下，选购生产设备时尽量选用低噪声高效设备。 2、合理布局，把生产设备集中布置在生产车间的中间。 3、加强设备的维护保养，对主要生产设备的传动装置做好润滑，使设备处在最佳工作状态。 4、加强厂区绿化，以起到吸音降噪的作用。

验收监测期间厂界东侧、南侧、西侧和北侧噪声昼间监测结果和夜间监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

三马厂区：设一般固废室内堆场（15m2），项目一般固废（废一般包装材料、废边角料、除尘灰、废布袋、废离子交换树脂、不合格品、废RO膜、废坩埚、废坩埚）经收集后贮存在室内外售；废气体瓶置于专用气瓶室内，由生产厂家回收；设危废间（15m2），项目危废（废包装桶、废油桶、废润滑油、含油抹布、废过滤吸附材料）暂存库按相关要求设置，危废经收集后委托有资质单位进行处置；生活垃圾袋装收集后由环卫部门统一清运。西子厂区：设一般固废室内堆场（15m2），项目一般固废经收集后贮存在室内外售；设危废间（15m2），项目危废暂存库按相关要求设置，危废经收集后委托有资质单位进行处置；生活垃圾袋装收集后由环卫部门统一清运。

本项目三马厂区的实施内容暂未建设。本项目西子厂区固废主要为废一般包装材料、废离子交换树脂、废RO膜、废坩埚、污泥、废包装桶、废油桶、废润滑油、含油抹布、废过滤吸附材料、废气体瓶、生活垃圾等。废一般包装材料、废离子交换树脂、废RO膜、废坩埚、污****公司综合利用，一般固废堆场位于厂房西侧，约15m2，并按一般固废管理要求做暂时储存管理工作及防雨防渗；废包装桶、废油桶、废润滑油、含油抹布、废过滤吸附材料收集后委托****公司收集转运，危废仓库位于厂房西侧，约30m2，并按照危险废物管理要求做暂时储存管理工作及防雨防渗；严格执行转移联单制度；废气体瓶收集后委托生产厂家回收利用；生活垃圾环卫部门定期清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程