首页 /半导体激光器产业化升级改造项目

半导体激光器产业化升级改造项目

审批

山东-青岛-黄岛区

发布时间： 2026年03月26日

项目详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

拟批准环境影响评价文件的建设项目公示

项目名称：		半导体激光器产业化升级改造项目
建设地点：		辛安街道前湾港路218号海信信息产业园
建设单位：		****
环境影响评价机构：		悦海怡德**公司
公示时间：		2026年03月25日至 2026年03月31日
项目概况：		项目位于**西海岸新区辛安街道前湾港路218号海信信息产业园1号楼，在现有厂房内进行改扩建，不新增占地及建筑面积。本项目在现有生产工艺流程基础上，新增PECVD（等离子体增强化学气相沉积）制氮化硅薄膜，ICP（电感耦合等离子体刻蚀）制光栅，湿法腐蚀半导体，氢氟酸腐蚀氮化硅薄膜，湿法镀金，腐蚀金、钛、二氧化硅/氮化硅薄膜，溅射镀膜和退镀液退镀工艺，新增的100Gb/s及以上速率激光器芯片的生产。新增生产设备与设施包括：酸碱有机清洗台3台、光刻机2台、反应离子刻蚀机3台、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备1台、磁控溅射镀膜机4台、电子束蒸发镀膜机1台、晶圆挂镀机1台、自动键合机1台、快速热退火炉1台、芯片测试机6台等；依托生产设备与设施包括：MOCVD（金属有机化合物气相外延）设备3台、酸碱有机清洗台10台、光刻机2台、反应离子刻蚀机3台、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备1台、ALD（原子层沉积设备）1台、磁控溅射镀膜机2台、电子束蒸发镀膜机4台、晶圆挂镀机1台、划片机6台、裂片机6台、芯片测试机29台、老化箱16台、喷砂机1台、超纯水系统2套等，项目建成后全厂原辅材料及用量：3寸磷化铟（InP）基片5090片、4寸磷化铟（InP）基片636片、砷化氢306千克/年、磷化氢1316千克/年、硅烷23千克/年、三甲基铝2.2千克/年、三甲基镓6千克/年、三甲基铟30千克/年、浓硫酸3231千克/年、氢氟酸2185千克/年、氢溴酸312.9千克/年、丙酮1670.6千克/年、显影剂5160升/年、光刻胶353升/年、贵金属及半导体靶材122.7千克/年、三氧化二铝192千克/年、二乙基锌1.5千克/年、硝酸81升/年、酒精3816升/年、异丙醇3204升/年、双氧水1071升/年、氨水504升/年、盐酸585升/年、磷酸675升/年、碘1.13千克/年、碘化钾4.52千克/年、亚硫酸金钠68升/年、去胶剂2150升/年、金补充剂7升/年、氟化铵4000升/年、溴1.6升/年、甲醇2升/年、氮气8800吨/年、氢气6吨/年、氯气1.8千克/年、六氟化硫50千克/年、纯氧280千克/年、笑气124千克/年、三氟甲烷72千克/年、氩气1375升/年、氦气635升/年、四氟化碳212升/年、甲烷2.25千克/年、氨气2.25千克/年、溴化氢2.25千克/年、硅烷氢混合气317升/年、退镀液40升/年、碳化硅0.5吨/年等，项目建成后，新增激光器芯片产能1226万颗/年，全厂激光器芯片生产规模共计3600万颗/年。项目总投资3000万元，其中环保投资25万元。
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：		项目设计、建设和运行过程中要认真落实《报告表》提出的各项环境污染防治和风险防范措施，并做好以下工作：（一）严格落实水污染防治措施。项目不新增生活污水，含砷清洗废水在含砷废水车间单独收集，经含砷废水车间排放口DW001汇入管网，与经管网收集的其余生产废水一并经全厂生产废水总排放口DW002进入海信信息产业**园区污水处理站）处理，处理后尾水经市政污水管网进入镰湾河水质净化厂。含砷废水车间排放口DW001总砷排放浓度执行《处理厂污染物排放标准》（GB 18918-2002）及其修改单表2中浓度限值。全厂生产废水总排放口DW002总锌排放浓度执行《处理厂污染物排放标准》（GB 18918-2002）及其修改单表3中浓度限值，氟化物排放浓度执行《流域水污染物综合排放标准第5部分：半岛流域》（DB37/ 3416.5-2025）中表2一级标准限值，pH、SS、CODCr、总有机碳、氨氮、总氮、总磷基准排水量排放浓度执行《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1中“显示器件及光电子器件”间接排放浓度限值，溶解性总固体执行镰湾河水质净化厂进水水质要求。按照“源头控制、分区防控、污染监控、应急响应”原则，运行过程加强管理，做好分区防渗，防止污染地下水和土壤。对工程设计、施工相关档案资料存档。（二）严格落实大气污染防治措施。项目生产车间封闭，MOCVD外延废气由密闭通气管路收集，经设备自带的双重粒子过滤器处理后，进入现有3套“干法吸附尾气处理设备+电浆燃烧式尾气处理设备”处理，尾气分别通过三根18米排气筒DA001、DA002、DA003排放。刻蚀废气经密闭通气管路收集，进入现有1套电加热燃设备处理后，与经通风橱收集的氢氟酸腐蚀二氧化硅/氮化硅薄膜、氢氟酸-氟化铵腐蚀二氧化硅/氮化硅薄膜、退镀工序废气一并进入现有1座酸雾净化塔处理，尾气通过18米排气筒DA004排放。PECVD工序的工艺废气与设备清洁废气，经密闭设备通气管路收集，进入现有1套电加热燃设备处理后，与经通风橱收集的氨水-双氧水腐蚀钛工序碱性废气一并进入现有1座碱雾净化塔处理，尾气通过18米排气筒DA005排放。涂胶、烘干废气经设备上方集气罩收集，与经通风橱收集的显影、去胶剂去胶、上蜡、去蜡清洗废气一并进入现有1套活性炭吸附装置处理，尾气通过18米排气筒DA006排放。湿法腐蚀半导体、化学腐蚀条形波导、化学腐蚀隔离槽废气经通风橱收集，进入的1座酸雾净化塔处理后通过18米排气筒DA007排放。双重粒子过滤器清洗废气经通风橱收集，进入现有1座碱雾净化塔处理后于厂区内无组织排放。DA001、DA002、DA003排气筒中颗粒物排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中“重点控制区”标准要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求；VOCs排放浓度和排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）表1标准要求。DA004排气筒中颗粒物排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中“重点控制区”标准要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求；氟化物、氯气排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求。DA005排气筒中颗粒物、SO2、NOx排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中“重点控制区”标准要求，排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求；氟化物排放浓度和排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求；氨排放速率、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准要求。DA006排气筒中VOCs排放浓度和排放速率均执行《挥发性有机物排放标准第5部分：表面涂装行业》（DB37/2801.5-2018）表2标准要求，氨排放速率、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准要求。DA007排气筒中NOx排放浓度满足《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中“重点控制区”标准要求，排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求；氯化氢排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求。厂界颗粒物、氮氧化物、氟化物、氯化氢浓度执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2标准要求；厂界VOCs、臭气浓度、丙酮、异丙醇、乙酸丁酯浓度执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2019）中表2、表3标准要求；氨排放浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中表1标准要求。厂区内无组织废气中NMHC执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）附录A表A.1中NMHC无组织排放监控浓度相关排放限值要求。严格落实《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）要求，规范废气收集处理设施，减少无组织排放，确保厂区内及厂界无组织排放满足限值要求。项目须严格按照环评报告要求和实际情况定期补充净化液、更换活性炭等耗材，留存详细的购买、更换、处置台账，台账至少保存3年。（三）严格落实噪声污染防治措施。车间及生产设备须合理布局，采取减振、隔声等有效的噪声污染防治措施。厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。（四）严格落实固体废物污染防治措施。危化品废包装材料、不合格品、各工序第一次清洗废液、废硫酸、废光刻胶、废显影液、废刻蚀液、废氢氟酸、废氢溴酸、废腐蚀液、废去胶液、废去蜡试剂、废退镀液、清洗废液及砷磷废渣、废滤芯、各净化装置废液、废活性炭、废灯管、废铅酸蓄电池等危险废物，分类暂存于现有一座88m2危废暂存间，定期委托危险废物处理资质单位处置；非危化品废包装材料、废研磨剂、金属废渣、废碳化硅、废滤料等工业固体废物暂存于现有12m2固体废物暂存间，外售综合利用或处置；生活垃圾分类收集后定期清运。各类固体废物应根据特性分区、分类贮存和管理。工业固体废物贮存过程应满足相应防扬散、防流失、防渗漏等环境保护要求；危险废物暂存管理需满足《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，按规范建立一般工业固体废物和危险废物固体废物污染环境防治责任制度、管理台账，确保可溯源并存档备查。（五）严格落实环境风险防范措施。按照《突发环境事件应急管理办法》的相关要求，修订突发环境事件应急预案并向我局备案。严格依据标准规范建设环境污染防治设施，健全内部管理责任制度，依法依规对污染防治设施和项目开展安全评价、评估和事故隐患排查治理，并按规定报安全生产行业主管部门。配备充足的环境应急物资，加强巡查巡检和应急培训演练，有效防范、科学处置突发环境事件。
****政府及有关部门作出的相关环境保护措施承诺文件：
审批单位	名称：	**环境局**分局
	联系电话：	0532-****6723
	传真电话：
	通讯地址：	**市西海岸新区七墩山路77号三楼
	邮政编码：	266400

听证权利告知：依据《中华人民**国行政许可法》，自公示起五日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

欢迎来电咨询～