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制造半导体器件的方法
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 杨普宇 183****3785 | ||
| 项目简介 |
提供了一种制造半导体器件的方法。该方法可以包括:在体半导体衬底的第一侧上形成鳍;在衬底的第一侧上形成隔离层;在隔离层上形成与鳍相交的栅堆叠;在衬底的第一侧上继续前端工艺及后端工艺;从衬底的与第一侧相对的第二侧,减薄衬底;进行氧化,使得鳍埋入隔离层中的至少一部分以及隔离层之下的衬底转变为绝缘的氧化物;以及在氧化后的衬底的第二侧上形成支撑衬底。
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