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垂直腔面发射半导体激光器结构
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 杨普宇 183****3785 | ||
| 项目简介 |
本发明公开了一种垂直腔面发射半导体激光器结构,包括:光学氧化限制层,位于激光器驻波波腹处,起光学限制的作用;电学氧化限制层,位于激光器驻波波节处,起到电流限制的作用;质子注入层,位于电学氧化限制层和光学氧化限制层上,提高激光器信息传输速率;以及衬底上外延生长缓冲层、N面电极、N型DBR、N型空间层、有源区、P型空间层、P型DBR层和P面电极构成激光器谐振腔。该垂直腔面发射激光器采用质子注入和分离限制氧化结构,此结构提高了电流注入的均匀性,减小了器件的寄生电容,具有低的阈值电流、稳定的单横模或多横模输出,提高了器件的高速性能。
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