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窄线宽分布反馈半导体激光器及其制备方法
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 杨普宇 183****3785 | ||
| 项目简介 |
一种分布反馈半导体激光器,所述激光器自下而上依次包括N面电极层、衬底层、缓冲层、下波导层、有源层、上波导层、二次外延光栅层、刻蚀自停止层、包层、欧姆接触层、钝化层和P面电极层;包层和欧姆接触层构成波导结构,所述波导结构为脊波导结构。本发明利用垂直方向上下两层光栅结构,共同反馈选模。分布在有源区附近的二次外延光栅与光场高效耦合,实现频率选择和压窄线宽。电极取样光栅单一反射峰线宽窄,与波导内光场充分耦合反馈,能够进一步稳定工作波长,提高边模抑制比,减小线宽因子,有效压窄激光线宽。
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