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Heusler合金为插层的MnGa基垂直磁隧道结及制备方法
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 张圆媛 152****6263 | ||
| 项目简介 |
一种Heusler合金为插层的MnGa基垂直磁隧道结,包括:一衬底,是实现多层膜外延生长的基础;一缓冲层,其制作在衬底上,用于平滑衬底表面并减小晶格失配度;一下电极,其制作在缓冲层上,外延生长;一下插层,其制作在下电极上,外延生长;一势垒层,其制作在下插层上;一上插层,其制作在势垒层上,外延生长;一上电极,其制作在上插层上,外延生长;一覆盖层,其制作在上电极上,对下层结构起保护作用。本发明具有较高的隧穿磁电阻效应。
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