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双波导分布式反馈半导体激光器及激光产生方法
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 张圆媛 152****6263 | ||
| 项目简介 |
本公开提供了一种双波导分布式反馈半导体激光器,包括:N面电极层(1)、衬底层(2)、缓冲层(3)、下波导层(4)、多量子阱有源层(5)、上波导层(6)、光栅层(7)、刻蚀自停止层(8)、包层(9)、欧姆接触层(10)、P面电极层(1112),各层依次叠加,从欧姆接触层(10)表面指向衬底的方向刻蚀有平行的第一沟道(15)、第二沟道(16)和第三沟道(17),第一沟道(15)与第二沟道(16)之间形成第一波导(13),第二沟道(16)与第三沟道(17)之间形成第二波导(14),第一波导(13)和第二波导(14)的尺寸相同,P面电极层(1112)设于欧姆接触层(10)、第一沟道(15)、第三沟道(17)表面,被第二沟道(16)分为两部分,分别对应为第一波导(13)和第二波导(14)的P面电极。本公开提供的激光器既可利用光栅层(7)的分布式反馈光栅进行模式选择,又能利用双波导的宇称时间对称性进行模式选择,具有高边模抑制比。
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