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3D集成电路结构以及检测芯片结构是否对齐的方法
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 赵伟雄 136****9899 | ||
| 项目简介 |
一种3D集成电路结构以及检测芯片结构键合是否对齐的方法,通过在其中一芯片结构上形成包括第一导体和第二导体的检测结构,在另一芯片结构上形成包括第三导体的检测结构,当这两个芯片结构键合在一起时,通过测量第一导体与第三导体之间、第二导体与第三导体之间的导电情况,与预期数值进行比较,从而判断两芯片结构是否对齐,并且,通过导电情况的测量,能够准确得到错位的偏移方向和大小。
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