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一种用于检测半导体器件的电荷及电场响应的系统
| 2025-05-18 | 披露结束日期2026-05-17 | |
| 张圆媛 152****6263 | ||
| 项目简介 |
本发明提供了一种用于检测半导体器件的电荷及电场响应的系统,包括:电流回路,待检测的半导体器件连接在所述电流回路中;脉冲激光器,用于向待检测的半导体器件周期性地施加激光脉冲,以在半导体器件处形成光生电荷;其中,光生电荷在电流回路中传输以形成瞬态光生电流;设置在电流回路中并与半导体器件串联的采样电阻;与采样电阻并联的电压信号采集器,用于采集采样电阻的两端的电压差信号;与半导体器件并联的电压源,用于向所述半导体器件提供周期性变化的调制电压;与电压源串联的电流隔离器,用于阻止瞬态光生电流或其高频部分流经电压源。本发明的系统能够准确地探测瞬态光生电流,并适用于检测半导体器件内很慢的电荷响应过程。
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