分析测试中心磁控溅射镀膜仪单一来源采购前信息公示

一、项目信息

采购人：****

项目名称：磁控溅射镀膜仪

预算金额：15万元

拟采购项目概况：****中心现有一台高真空高分辨溅射仪，因油泵返油影响真空仓，需定期清理，如不及时，会造成仪器严重故障。结合实际，现需再增加一台备用，随时满足样品镀膜用户多样化需求。

具体参数：1.真空泵组:干式螺杆真空泵;2.泵组抽速: 8m3/h(130L/min);3.极限真空: 1Pa;4.工作气压:4-10Pa;5.抽真空时间:<3min;6.真空规:皮拉尼真空计;7.样品腔室尺寸:135x120mm（内尺寸）不锈钢腔室;8.磁控溅射源:双靶位溅射运行，靶材尺寸中30x0.2mm Au、Pt各一个;9.溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源Max.30W，Max.100mA;10.操作方式:触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能;11.自动旋转偏转样品台，转速0~60RPM/分，倾转角度0~40度;12.功能可实现双靶单独溅射，叠层溅射;13.功耗:<500W。

二、采用单一来源采购方式的原因及说明

（一）核心技术与工艺具有唯一性

1.双靶磁控溅射核心技术独家研发：J20双靶离子溅射仪采用速普仪器自主研发的双靶磁控溅射阴极技术，可实现无需换靶完成单靶、双靶Pt-Au 叠喷特色工艺，先喷 Pt 保护样品表面、再喷 Au 提升导电性，完美解决 3D 粉末、多孔、隔膜类等复杂样品的荷电抑制与形貌衬度问题。目前国内及国际市场上，暂无其他品牌同类设备具备同等成熟度的双靶独立控制与叠喷工艺。

2.旋转偏转样品台专属设计：设备标配速普仪器模块化旋转偏转样品台（倾斜角度 ±40°、转速 0-60RPM），可实现 3D 样品无死角喷镀，膜层均匀性远超普通单轴旋转样品台。该设计为速普仪器针对电镜制样场景的专属研发。

3.定制化螺杆真空干泵：J20 搭配的是定制化螺杆真空干泵，可快速达到＜3Pa 的工作真空，搭配触摸屏一键自动化控制，抽真空时间＜3 分钟，兼顾效率与样品保护。该真空系统与控制逻辑为速普仪器专属优化，与设备核心工艺深度绑定，另外干泵无油免维护，****实验室中产生油雾污染，对实验室的空气质量和实验操作员很**。

（二）应用场景与性能要求具有不可替代性

1.适配高分辨率电镜制样需求：设备主要用于场发射扫描电镜样品制备，要求喷镀颗粒细腻（不覆盖样品细微结构）、导电性强、无热损伤。J20的Pt-Au 叠喷工艺可同时满足“Pt 保护样品 + Au 提升导电” 的双重需求，而单靶溅射仪仅能喷单一金属，无法兼顾 3D、多孔等复杂样品的成像质量。经调研，市场上同类设备要么为单靶设计，要么双靶工艺不成熟，无法达到较高的制样精度要求。

2.样品通用性与稳定性要求匹配：涉及材料、生物、环境等多领域样品制备，涵盖粉末、薄膜、多孔材料、生物切片等类型。J20的双靶设计、旋转偏转样品台及良好的真空控制，可适配所有类型样品，且喷镀重复性、稳定性经过市场验证。

三、拟定供应商信息

制造商：****

公司地址：****大学科技园11号楼1003

四、公示期限

2026年3月30日至2026年4月2日，共计3个工作日

五、其他补充事宜：无

六、联系方式

1.采购人

联 系 人：李丽

联系地址：**省**市**区孝陵卫街200号****

联系电话：138****8707

2.采购科

联 系 人：葛老师

联系地址：****致远楼119室

联系电话：025-****5090

七、附件

单一来源采购专家论证意见表

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