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12英寸硅锗外延系统附属真空泵采购（XJ-WSBX-2600070）采购公告

公告-招标公告

浙江 -杭州

发布时间： 2026年04月01日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

真空泵采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

12英寸硅锗外延系统附属真空泵采购	****
2026-04-01 15:53:48	2026-04-08 17:00:00
****	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

	成交后3个工作日内
￥310000.00




********中心水博园区A03-110
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

12英寸硅锗外延系统附属真空泵

台

真空泵

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 310000.00

1)要求最大抽速大于（ Max. PumpingSpeed）17750L/min" 2)工艺要求要求底压范围0.1-1 Pa 3)必须具备通讯信号盒，球阀（逆止阀），进气口法兰，航空电源接头，快速水接头，电源线，信号线等 4)Uptime/正常工作时间≥99%，MTBF平均故障间隔时间：可依据工艺确定，最低>6个月 5)MTBC平均保养间隔时间：可依据工艺确定，最低>6个月 6)MTTR平均故障恢复时间：4小时内 7)提供与阀门的通讯 8)EMO按钮上安装保护罩 9)保内真空泵自身问题（非人为/工艺问题），由供应商免费overhaul

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:2年;服务时限:报修后2小时;