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| 蒸镀机工艺腔体 | 鼎能光电 | 192000.00 | 自验收交货合格之日起算一年期限 | 1 设备尺寸及占地面积 设备占地位置:L×W×H=1990mm×1035mm×2150mm 建议配置:≥1ton行车用于设备安装、维护、保养 2真空量测 全真空计:5×10-5~1×105Pa 3真空泵 前级泵:国产品牌油泵 分子泵:岛津TMP-2203LMC 4电源种类 日本品牌:TDK 电源:Gen8-180(舟源)+Z20-10(束源) DC:1台,2kW(基片加热用电源)(备选) 5 蒸发源 源基距:可调范围30~80mm; 5束源+1舟源; 基于PbI2的蒸发速率过快,其坩埚容量与其余坩埚容量相比更大,束源可以实时反馈升温温度。 束源舟源皆含水冷。 6 传动系统 腔体外传动:2套伺服电机 磁流体:国产品牌 7 防着板 防着板:1用1备,材质使用SUS304,表面喷砂。 8 设备控制系统 系统:触摸屏操作;台达PLC控制和处理所有的数字/模拟信号 参数处理:系统中提供所有参数设定。各工艺参数可分别编号储存与控制系统中。选定工艺参数后,按下自动操作键,系统自动作业。 设备功能:所有设备系统功能由PLC控制,诸如: 真空抽气系统 蒸镀过程 权限密码:系统设有各级授权权限,可密码锁定,防止参数被任意修改。 维护保养 更换膜料:经由定时器使用,真空泵及蒸发源使用时间可以同步记录,系统会根据设定警示值提醒更换润滑油和蒸发物,以及其他定期维护项目。 安全防护:由各传感器形成连锁反应控制模式,在设备运转过程中发生如停电、停水、停气等异常状况下会立即启动连锁控制,以保护设备各部位安全。 指示灯:所有指示灯均采用LED型。 | 1.0台 | pvds-210 | 192000.00 | **** |