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光刻机用涂胶显影机
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70000000.00
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***********公司企业信息
****2026年6至12月政府采购意向-光刻机用涂胶显影机 详细情况
| 光刻机用涂胶显影机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 光刻机用涂胶显影机 |
| 预算金额： | 7000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****9900-其他电工、电子生产设备
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| 采购需求概况 ： |
光刻机用涂胶显影机，主要用于浸没式光刻工艺中的涂胶，显影，烘烤以及正背面清洗等，需满足以下指标：旋转转速：最高转速4000转/分钟，转速精度1转以内； 旋转加速度：最高加速度30000rpm/秒，精度7%以内； 具备浸没式光刻后冲洗功能 具备晶圆背部清洗功能 具备负显影工艺能力； 本次采购1台，需在2026年10月份完**装。
|
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-04-02
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