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| 离子溅射仪 | 1.0/ | 中科科仪 | SBC-12 | 中科科仪/SBC-12 包含机械泵以及金靶一份 -技术指标: 玻璃处理室:内径6100毫米,高度130毫米。 试样台尺寸:内径640毫米,可同时放6个样品杯。 金靶尺寸:φ58毫米。 真空系统:直联旋片真空泵1升/秒。 真空检测:皮氏计。 真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空。 工作室工作媒介气体:空气或氩气, 配有氩气专用进气口和微量充气调节。 配置:内置一块金靶。 | 按行业标准提供服务 |