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深圳医科院光刻机激光器TEL设备二次配项目（FS-BX-260026号）采购公告

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2026年04月03日

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激光器采购公告

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

**医科院光刻机激光器TEL设备二次配项目	****
2026-04-03 17:40:43	2026-04-06 19:00:00
****	分阶段付款：预付30%，完成施工后付50%，改造项目拿到验收合格后10个工作日内付剩余20%


￥493387.68





符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

医科院光刻机激光器TEL设备二次配项目

项

其他工程总承包服务

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 493387.68

ASML光刻机和TEL二次配（含气体、冷却、电气接口对接）气体接口二次配：将改造后的氟氪氖、氪氖、氦气输送系统与光刻机专用气体接口精准对接，配置专用快插接头（泄漏率≤1×10^-9mL/s），接口压力与光刻机需求匹配（0.3-0.5bar）；每条气体管路末端加装独立截止阀及压力监测点，实时监控供气状态。冷却接口二次配：对接PCW冷却水系统与光刻机冷却回路，采用PFA材质高压软管（耐压≥1.0MPa，无溶出物），管路长度≤5m，减少流阻；安装流量调节阀（调节范围20-50L/min）及温度传感器，确保冷却水进水温度稳定在20±2℃，满足光刻机散热需求。电气接口二次配：完成光刻机动力电源（400V三相五线制）、控制信号线缆（屏蔽双绞线）的敷设与对接，线缆穿管防护（材质为304不锈钢），防护等级达到IP65；动力线缆载流量≥50A，控制信号线缆传输延迟≤10ms，确保设备电气系统稳定运行。接口固定与防护：所有气体、冷却、电气接口采用防震支架固定，支架间距≤1.5m，避免设备运行振动导致接口松动；接口区域加装防尘罩，防护等级IP54，防止洁净室颗粒物污染接口。氟氪氖、氪氖、氦气输送系统优化升级对现有氟氪氖、氪氖、氦气和氦氮供应系统的输送管路进行全面优化，更换为316L EP级不锈钢管路（内壁电解抛光，粗糙度Ra≤0.4μm），配套VCR密封接头，确保气体传输过程无杂质污染；每套系统配置高精度稳压减压阀（调节范围0-6bar，精度±0.01bar），保障供气压力稳定；匹配ASML光刻机工艺需求。系统整体调试与验证二次配对接调试：启动ASML光刻机空载运行，测试气体接口供气稳定性（压力波动≤±0.02bar）、冷却接口流量与温度稳定性（温度波动≤±0.5℃）、电气接口信号传输可靠性（无丢包、无延迟），确保各接口对接无误。特气系统泄漏测试：完成所有改造后，对氟氪氖、氪氖、氦气和氦氮系统进行整体氦泄漏测试，确保无任何泄漏点；设备联动测试：模拟光刻机正常运行工况，验证特气供应、冷却水循环、电气控制的协同运行效果，连续运行24小时无异常报警；精度校准：对每套特气系统的减压阀、流量稳定器进行精准校准，确保压力调节精度和流量稳定性符合设定要求；对泄漏侦测器进行灵敏度测试，验证联动机制响应时效性。

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:6个月;

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招标进度跟踪

2026-04-03

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