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碳化硅高温氧化炉
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
****2026年6月政府采购意向-碳化硅高温氧化炉 详细情况
| 碳化硅高温氧化炉 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 碳化硅高温氧化炉 |
| 预算金额： | 540.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300
|
| 采购需求概况 ： |
设备最高温度能够达到1500℃；设备在控温精度和温度均匀性方面，能够保证所制备氧化层的均匀性和工艺重复性；设备维持较低的炉体漏率，能够充分保证非工艺气体的影响。该设备是碳化硅材料氧化，尤其是高质量SiC MOSFET高质量栅介质层制备的必要设备。
|
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-07-28
2026-07-06
2026-04-03
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