超精密化合物半导体衬底抛光机

发布时间: 2026年04月03日
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****2026年6月政府采购意向-超精密化合物半导体衬底抛光机 详细情况
超精密化合物半导体衬底抛光机
项目所在采购意向: ****2026年6月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 超精密化合物半导体衬底抛光机
预算金额: 150.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0300
采购需求概况 :
用于去除晶圆表面的划痕、凹坑、氧化物和残留杂质,消除因切割、研磨等工序造成的微米级缺陷,为后续光刻、薄膜沉积等关键工艺提供原子级平整基底
预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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