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中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
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政府采购意向公告
****2026年6月政府采购意向
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2026年6月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | **** | 等离子体增强原子层沉积设备 | A****0300 | 443.000000 | 2026年06月 | ||
| 2 | **** | 碳化硅高温氧化炉 | A****0300 | 540.000000 | 2026年06月 | ||
| 3 | **** | 大面积光子晶体电子束曝光系统 | A****0300 | 1275.000000 | 2026年06月 | ||
| 4 | **** | 超精密化合物半导体衬底抛光机 | A****0300 | 150.000000 | 2026年06月 | ||
| 5 | **** | 晶圆平整度检测仪 | A****9900 | 247.470000 | 2026年06月 | ||
| 6 | **** | 全自动晶圆激光打标机 | A****0300 | 86.000000 | 2026年06月 | ||
| 7 | **** | 多物理场仿真子系统 | A****9900 | 305.000000 | 2026年06月 | ||
| 8 | **** | 感算融合芯片设计验证系统 | A****9900 | 480.000000 | 2026年06月 | ||
| 9 | **** | 傅立叶变换显微中远红外PL系统 | A****9900 | 200.000000 | 2026年06月 | ||
| 10 | **** | 反应磁控溅射系统 | A****0300 | 235.000000 | 2026年06月 | ||
| 11 | **** | 原子层沉积系统 | A****0300 | 98.000000 | 2026年06月 | ||
| 12 | **** | 电子元器件表面功能化用氧化式化学气相沉积设备 | A****0300 | 98.000000 | 2026年06月 | ||
| 13 | **** | 超高真空脉冲激光沉积系统 | A****0300 | 325.000000 | 2026年06月 | ||
| 14 | **** | 直流脉冲磁控溅射镀膜设备 | A****0300 | 195.000000 | 2026年06月 | ||
| 15 | **** | 多元素离子注入机 | A****0300 | 800.000000 | 2026年06月 | ||
| 16 | **** | 芯片解理系统 | A****0300 | 180.000000 | 2026年06月 | ||
| 17 | **** | 化学机械抛光设备 | A****0300 | 222.000000 | 2026年06月 | ||
| 18 | **** | 光学引线键合系统 | A****0300 | 672.000000 | 2026年06月 | ||
| 19 | **** | 片上激光器三维加工设备 | A****0300 | 188.000000 | 2026年06月 | ||
| 20 | **** | 矢量网络分析仪 | A****9900 | 476.000000 | 2026年06月 | ||
| 21 | **** | 任意波形发生器 | A****9900 | 330.000000 | 2026年06月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-04-03
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