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低温原子层级薄膜外延生长设备

江苏 -南京

发布时间： 2026年04月03日

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低温薄膜

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***********公司企业信息

****2026年4至12月政府采购意向-低温原子层级薄膜外延生长设备详细情况

低温原子层级薄膜外延生长设备
项目所在采购意向：	****2026年4至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	低温原子层级薄膜外延生长设备
预算金额：	295.000000万元(人民币)
采购品目：	A****0699 其他试验仪器及装置
采购需求概况：	****拟采购低温原子层级薄膜外延生长设备一台。主要采购需求如下：（1）生长腔的漏率≤10^-12mbar﹒L/s，本底真空＜2.0x10^-10mbar；（2）配置离子规及其控制器，探测真空度极限达到1x10-12mbar；（3）配置不少于4个观察窗及相应防污染挡板，配置红外测温仪，用于非接触直接测量样品表面温度；（4）配置四维样品台，样品直径可达到1英寸，配置热辐射和直流加热功能，配置液氮制冷；（5）配置2套低温蒸发源（600℃），2 套中温蒸发源（1400℃），2 套高温蒸发源（1800℃），1套裂解蒸发源（蒸发区30-600℃，裂解区200-1400℃）和1套电子束蒸发源；（6）配置反射式高能电子衍射仪，并配备配套的观察分析软件；（7）配置电动模块和控制模块；（8）质保期1：年。
预计采购时间：	2026-12
备注：