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| ****光学徽腔器件加工与测试设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年4月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | ****光学徽腔器件加工与测试设备采购项目 |
| 预算金额: | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
为支撑前沿科研与定制化小批量试制,突破传统掩膜光刻的长周期低效率问题,打通针对光学微腔的微米尺寸图形化结构制备从设计到原型验证的快速闭环,本系统将针对光学微腔在微米尺度的高精度的制备,基于无掩膜直写系统对光学微腔图案化的高精度(≤1μm)闭环微纳工艺,高精度薄膜沉积及器件刻蚀设备,为实现高效率光学微腔的全流程制备构建一套完整的结构加工及测试设备测试表征的一体化设计。本系统针对光电器件从版图设计到器件成型的快速高效原型验证,兼顾精度、灵活性、与可扩展性。无需物理掩膜的紫外图形化系统1套,电子束蒸发沉积系统1套,干法刻蚀系统1套。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: |
不专门面向中小企业采购:按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争,****政府采购目标实现的情形
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本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写