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去胶机(JJ2026000400119)采购公告
招标详情
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去胶机(****)采购公告
发布时间：2026-04-09 14:35
报价剩余时间： 6天
▎采购需求
项目名称：
项目编号： **** 报价截止： 2026-04-16 17:00 付款方式： 货到付款 采 购 方： ****医院 预 算： 未公布 采购单位： **** 联系电话： 中标后可见 发票要求： 增值税专用发票 联 系 人： 中标后可见 签约时间： 成交后 90 个工作日 到货要求： 签约后 90 个工作日 谈判会时间： 无
收货地址：
**省******中心
供方资质：
无
备 注：
1.合同签订甲方为****； 2.到货要求说明：合同签订生效且接到采购人正式通知后90个工作日。
▎采购清单
物品名称
采购数量
计量单位
预算单价
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去胶机
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1
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台
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未公布
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参考品牌型号：
请响应厂商必须备注品牌及型号，否则视为无效响应，-
技术参数与配置：
支持光刻胶去除、SU-8 厚胶灰化、晶圆表面清洗活化、刻蚀等工艺 电容式等离子激发，处理均匀性好，无热损伤、无热氧化 7 寸 PLC 触摸屏控制，中英文界面，自动监测工艺参数 支持≥20 组工艺配方存储、输出、追溯 手动 / 自动双工作模式，PLC 工控机全程控制 多孔道进气，解决单孔进气不均匀问题 HEPA 高效过滤 + 气体返填吹扫，防止二次污染 舱门开启自动断电，运行 / 停止声光提示，安全联锁 兼容 O、Ar、N、CF、H及混合工艺气体 工艺时间 0-9999 秒可调，气体稳定时间≤1 分钟 真空度≤100Pa，满足去胶工艺真空要求 可分层处理样品，支持多片晶圆 / 器件批量处理 设备配置要求： 舱体材质：316 不锈钢，舱体容积≥120L 有效尺寸：W500×D420mm，电极分布 8-10 层 射频系统：13.56MHz 射频电源，功率 0-1000W 连续可调，全自动匹配器 气路系统：标配 2 路防腐型 MFC，可选装 3 路，量程 0-500sccm/0-2SLPM 真空系统：抽速≥60m3/h 真空泵，全 316 不锈钢真空管路 控制系统：7 寸彩色触摸屏 PLC 控制，图形化操作界面 进气系统：多孔道花洒式均匀进气结构 过滤系统：HEPA 高效过滤器，气体返填吹扫装置 安全系统：舱门联锁、急停按钮、声光报警装置 电源：220V/380V 50/60Hz 标配专用样品架、石英舟，适配晶圆 / 器件装夹收起
售后质保：
培训要求： 原厂工程师上门现场培训，覆盖操作、维护、工艺调试全流程 培训工艺配方编辑、存储、调用，参数设置与优化 培训 SU-8 厚胶、常规光刻胶去胶工艺实操 培训真空系统、气路系统、射频系统日常点检与维护 培训腔体清洁、耗材更换、易损件（密封圈、过滤器）更换 培训设备常见故障（真空异常、功率不稳、去胶不净）排查处理 确保≥3 名参训人员独立完成全流程操作，考核合格交付 提供设备操作、维护、工艺 SOP 手册（纸质 + 电子版） 其它要求： 提供设备全套原厂技术资料：说明书、电路图、气路图、部件清单 提供原厂合格证书、参数校准报告、性能检测报告 配备专用操作工具、清洁耗材、首批易损件（密封圈、过滤器等） 设备交付时完成全性能标定与 SU-8 / 常规光刻胶去胶工艺实测，提供实测报告 3年质保，质保期后整机每年维保价格不高于设备成交价的5%，质保期内免费上门维修、原厂配件更换 质保期内 7×24 小时技术支持，故障响应≤4 小时，现场维修≤72 小时 协助完成设备与厂务（供电、供气、真空）的对接调试 厂商提供设备详细厂务接口规格、安装空间及环境要求 原厂长期供应配件耗材，提供清晰采购渠道与货期保障 质保期内免费提供工艺优化技术支持，适配产线工艺需求收起
产品资质要求：
无
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参考品牌型号：
请响应厂商必须备注品牌及型号，否则视为无效响应，-
技术参数与配置：
支持光刻胶去除、SU-8 厚胶灰化、晶圆表面清洗活化、刻蚀等工艺 电容式等离子激发，处理均匀性好，无热损伤、无热氧化 7 寸 PLC 触摸屏控制，中英文界面，自动监测工艺参数 支持≥20 组工艺配方存储、输出、追溯 手动 / 自动双工作模式，PLC 工控机全程控制 多孔道进气，解决单孔进气不均匀问题 HEPA 高效过滤 + 气体返填吹扫，防止二次污染 舱门开启自动断电，运行 / 停止声光提示，安全...展开
售后质保：
培训要求： 原厂工程师上门现场培训，覆盖操作、维护、工艺调试全流程 培训工艺配方编辑、存储、调用，参数设置与优化 培训 SU-8 厚胶、常规光刻胶去胶工艺实操 培训真空系统、气路系统、射频系统日常点检与维护 培训腔体清洁、耗材更换、易损件（密封圈、过滤器）更换 培训设备常见故障（真空异常、功率不稳、去胶不净）排查处理 确保≥3 名参训人员独立完成全流程操作，考核合格交付 提供设备操作、维护、工艺 ...展开
产品资质要求：
无
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****医院
2026-04-09 14:35
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