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| 高重频脉冲功率电源 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年5月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 高重频脉冲功率电源 |
| 预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****1599其他电源设备
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| 采购需求概况 : |
采购内容:高重频脉冲功率电源 1台 该设备是放电等离子体极紫外光刻光源基础装置,用于电离氙气产生极紫外13.5nm光。
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| 预计采购时间: | 2026-05 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写