非接触式迁移率测试仪

发布时间: 2026年04月10日
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****2026年4月至6月政府采购意向-非接触式迁移率测试仪 详细情况
非接触式迁移率测试仪
项目所在采购意向: ****2026年4月至6月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 非接触式迁移率测试仪
预算金额: 180.000000万元(人民币)
采购品目:
采购需求概况 :
1套;迁移率桌面子系统:非接触无损测试迁移率+非接触方阻;2)测试范围10~30000 cm2/V-sec;3)测试速度15片/小时(9点);4)自动样品台支持XY方向的mapping,范围200 mm;5)探头尺寸≤14mm;6)测试点数3000点;7)去边14 mm;8)样品尺寸:2-4英寸或1.6cm*1.6 cm的方形样品,允许样品厚度在200-1500 μm之间;9)面载流子浓度测试范围:1E11-1E14(cm-2)。2000M微波模块子系统:迁移率测试范围:100-20000 cm2/Vs测量误差:100-600 cm2/V-s ≤1%;2600-20000 cm2/V-s≤0.5%;2)静态重复性:≤1%;3)动态重复性≤2%;4)微波频率10.25GHZ;5)射频≤50mw。涡流方阻子系统:涡流法非接触测试;2)方阻范围:15- 3000 Ohm/sq;测量误差:3000 ohm/sq≤1.8%;600 ohm/sq≤0.3%;15 ohm/sq≤0.2%;1.6 ohm/sq≤1.25%;0.006 ohm/sq≤0.55% 重复性:≤1.5%。
预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2026-04-10
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