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| 半导体芯片高速光电测试系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年4月至6月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 半导体芯片高速光电测试系统 |
| 预算金额: | 75.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
1套;1)使用接接触式探针对样品表面进行扫描测量(形貌+电性+高频测试);2)8英寸样品台(带2个辅助载台),可吸附8英寸及以内直径样品,XYZ三轴行程250*350*20 mm,高速自动移动,精度可达1微米;3)连续变倍显微镜,放大倍率80-1800倍,内置高清CCD,自动扫描对准,支持测距,拍照及录像;4)自动化功能,手动上料,一键完成自动测试;5)视觉辅助与图像导航,自动(0,0)点定位,自动测量Die size及生成器件(晶圆)map图,支持坏点标记。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写