开启全网商机
登录/注册
中山大学微电子科学与技术学院化学机械抛光系统设备采购项目
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
********学院化学机械抛光系统设备采购项目
| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | **** | ||
| 项目名称 | ********学院化学机械抛光系统设备采购项目 | ||
| 申购主题 | 化学机械抛光系统 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价 | 500,000.00(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | 2026-04-10 17:53 | 报名及响应结束时间 | 2026-04-17 09:00 |
| 采购单位 | **** | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | ****5092 |
| 期望收货时间 | 合同签订后120天内交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | **省**市**区******校区瀚林2号A526实验室 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、****学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.****.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属****委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间****委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。电子标服务 | ||
| 采购明细
| 1采购设备 | 化学机械抛光系统 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
“化学机械抛光系统”技术要求
| 1 | 抛光单元模块可用于4英寸及1cm*1cm可吸附方片夹具的硅基、玻璃基、化合物基晶圆及其表面薄膜层化学机械抛光。 | 重要 | 否 | 否 |
| 2 | 抛光头为气囊式加压，控制精度不低于0.1psi；腔数量不少于5腔，保持环不少于1个，抛光腔不少于3个，真空吸附腔不少于1个，抛光头转速：5-90rpm，精度不低于±1rpm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | 抛光盘的直径为250mm~300mm之间，抛光垫转速盖10-120rpm，精度不低于±1rpm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 4 | 活化单元和抛光头需为水平对称结构，设备需配备活化单元清洗模块，并预留盘温监控，自动冷却接口。 | 重要 | 否 | 是 |
| 5 | 抛光液供应泵为蠕动泵（带搅拌功能）供液，供液范围：0-250ml/min。 | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | ▲操作控制系统：控制系统可实现用户分级控制，如操作员模式、维护模式和技术模式等，各种模式通过密码控制。系统软件可对每个工艺步骤的工艺参数进行编辑，按程序对晶片表面薄膜进行平坦化抛光。具有紧急停止按钮，用来立即停止设备动作并切断控制电源。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | ★工艺性能：对于4英寸氧化硅去除，使用原厂提供的抛光液能达到：抛光速率≥100nm/min；晶圆抛光片内均匀性≤5%（RR_NU%，去除量均匀性），去边5mm；晶圆抛光片间均匀性≤3%（RR_NU%，去除量均匀性），去边5mm；抛光后表面粗糙度（RA）≤1nm。（投标时提供同型号产品测试报告）。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 8 | 需为落地式设备，设备尺寸长x宽x高（cm）不大于100 cm *100 cm *140 cm。 | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | ▲包含但不限于：1个1cm*1cm可吸附方片夹具、1个抛光盘、1个修整臂、1个UPA （均匀压力施加）单元、1个抛光液供应泵、1个Slurry Arm（抛光液喷淋臂），1套操作控制系统、20kg抛光液。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 资质要求
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) |
是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） |
是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） |
是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） |
是 |
| 商务要求
| 1 | 免费保修年限 | 2年 3年 4年及以上 |
是 |
| 2 | 合同履约 | ****学校合同范本执行 下载地址：http://www.****.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《****国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 |
否 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 |
是 |
| 4 | 售后服务要求 | 1.供应商须在发货前协助采购人用户完**装条件的准备工作； 2.收到采购人用户安装条件就绪的通知后，供应商方需委派安装工程师在3天内到安装现场进行设备的安装和调试； 3.保修期内如用户在设备使用过程中出现故障，供应商须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，供应商须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好； 4.每年至少提供一次上门检修服务； 5.质量保证期内中标（成交）供应商对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，保修期后设备维修配件更换只收取成本费用。 |
是 |
| 5 | 培训要求 | 设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少2名操作人员能够熟练使用设备为止。 |
是 |
附件（1）
附件_588592595_372763767.doc下载预览
招标进度跟踪
2026-04-10
招标公告
中山大学微电子科学与技术学院化学机械抛光系统设备采购项目
当前信息
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
