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中山大学微电子科学与技术学院激光微纳加工平台与红外光纤飞秒激光器采购项目

公告-招标公告

广东 -珠海

发布时间： 2026年04月10日

摘要信息

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大学微电子学院激光平台

招标详情

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***********公司企业信息

********学院激光微纳加工平台与红外光纤飞秒激光器采购项目

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	********学院激光微纳加工平台与红外光纤飞秒激光器采购项目
申购主题	激光微纳加工平台,红外光纤飞秒激光器
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	920,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2026-04-10 17:55	报名及响应结束时间	2026-04-17 09:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后60天内交货
是否送货	是	送货地址	省市区****校区瀚林2号A526实验室
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding..cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间**委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。电子标服务

| 采购明细

1采购设备	激光微纳加工平台
数量	1台
参考品牌

“激光微纳加工平台”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	▲激光光路特性：双光路系统，支持物镜和贝塞尔切割头自由切换。其中物镜指标：数值孔径：NA≥0.67；工作距离：≤10mm；聚焦光斑：≤5μm；聚焦光斑圆度：≥93%；扩束镜倍率：变倍1-4倍；反射镜低色散，反射率≥99.5%@45°入射。	非常重要	否	是
2	▲贝塞尔切割头指标：工作距离：≤20mm；焦深：≥1.2mm；聚焦光斑：≤5μm；扩束镜倍率：定倍3倍；聚焦光斑圆度：≥93%；离焦光斑圆度：≥90%（±0.5mm）。	非常重要	否	是
3	视觉系统：装配物镜同轴视觉与贝塞尔旁轴视觉，物镜像素精度：≤0.2μm/pixel；贝塞尔旁轴视觉像素精度≤2μm/pixel；视觉像素≥1200万。	重要	否	是
4	光源要求：激光光源波长1035±5nm,支持脉冲串模式，脉冲串和单脉冲高度可调，裸光斑圆度≥93%，M2≤1.2。	重要	否	是
5	光学平台：隔振阻尼光学平台的尺寸不小于2.5X1.****.8m。	重要	否	否
6	视觉系统：物镜视野范围：≤200μm，贝塞尔旁轴视觉视野范围≤8mm*6mm；物镜同轴视觉镜头：0.5倍同轴视觉组件；贝塞尔切割头视觉镜头：1倍远心镜头。	重要	否	是
7	机械平台与控制系统：采用结构，石材料，用于安装光路和Z轴，材料石，长X宽X高X厚≥ 500X300X500X150mm；石平台厚度≥120mm，长X宽X高尺寸不小于 870X540X120mm；箱门尺寸不小于 900X600mm，支持手动门上开门，平衡器平衡门重，光学平台搭配石结构，保证结构稳固可靠；配置急停开关，安全光幕等。	重要	否	否
8	▲三维和旋转平台行程：XY行程≥300mm，Z轴行程≥100mm，旋转轴360°；速度：XY最大速度需达到500mm/s；Z轴最大速度需达到100mm/s；加工范围≥200X200 mm。重复定位精度：XY轴重复定位精度≤±0.5μm；Z轴重复定位精度≤±2μm；旋转轴复定位精度≤ 5arc sec。	非常重要	否	是
9	包括但不限于：一套激光光路系统、机械平台与控制系统、光学平台、三维旋转平台、视觉系统、真空泵（负压：-70Kpa-93Kpa），工控机（配置不低于CPUI7-10700/DDR4-16G/1T-SSD/4千兆网口/4COM/6*USB），水冷机（温控精度±0.1℃，带报警信号输出），FFU过滤单元（风速在0.45m/s时，总静压≥280Pa，过滤效率99.995%@O.3μm）、护目镜、控制软件（一体化软件集激光控制、平台运动控制，视觉定位功能，带PSO功能）。	重要	否	是

2采购设备	红外光纤飞秒激光器
数量	1台
参考品牌

“红外光纤飞秒激光器”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	▲中心波长1035±5 nm。输出功率≥40 W@200KHz。	非常重要	否	是
2	▲最大单脉冲能量≥200 μJ@200kHz；重复频率（基频）1Hz~ 1 MHz ；脉冲宽度 ≤240 fs@sech2（在双曲正割拟合方式下测量）；脉宽可调 240fs~8ps，分档可调；需支持在线调节，如250fs 350fs 500fs 750fs 1ps 2ps 3ps 4ps 5ps；种子源：光纤种子源；激光器放大路线：光纤放大。	非常重要	否	是
3	光束质量M2≤1.2。	重要	否	是
4	光斑发散角≤1mrad。	重要	否	是
5	光斑圆度：≥95%。	重要	否	是
6	光斑直径：2.5±0.5 mm。	重要	否	是
7	▲功率稳定性：< 1% RMS @ 24h。激光器功率调节支持0.1%-100%，精度0.1%。	非常重要	否	是
8	激光器固定方式：三点固定。	重要	否	否
9	需支持Burst 模式：支持脉冲串形状可编辑，能量范围至少覆盖0-200μJ。	重要	否	是
10	包括但不限于：一套红外光纤飞秒激光器、满足激光器运行的冷水机、与激光器适配的电源。	重要	否	是

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限	3年 4年 5年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	1.供应商须在发货前协助采购人用户完**装条件的准备工作； 2.收到采购人用户安装条件就绪的通知后，供应商方需委派安装工程师在3天内到安装现场进行设备的安装和调试； 3.保修期内如用户在设备使用过程中出现故障，供应商须在接到故障通知后即时响应，并在48小时内安排上门服务，如故障需要更换零配件，供应商须在7个工作日内将配件调配到位并将设备维修好； 4.每年至少提供一次上门检修服务； 5.质量保证期内中标（成交）供应商对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，保修期后设备维修配件更换只收取成本费用。	是
5	培训要求	设备安装完成后，由专业应用技术工程师进行产品使用的培训工作，培训包括但不限于该设备结构、工作原理、故障判断、故障处理、设备的正常操作、维护、保养等相关内容，直到至少2名操作人员能够熟练使用设备为止。	是

附件（1）

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招标进度跟踪

2026-04-10

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