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2026年铜陵学院铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目
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****2026年4月政府采购意向-2026年****铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目 详细情况
| 2026年****铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 2026年****铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目 |
| 预算金额： | 174.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
本项目拟引进涵盖光刻等核心工艺模块的微纳加工集成系统，支持从微米尺度的图形化制造。系统需兼容硅基、二维材料、柔性衬底等多种基底，具备高对准精度及多步工艺流程自动化控制功能。将用于构建新型光电探测器、场效应晶体管、神经形态器件、微机电系统（MEMS）等原型器件。拟购置集成磁控溅射与电子束蒸发功能的多腔室薄膜沉积系统。设备需支持直流/射频/脉冲多种电源模式，具备多靶位共溅射、反应溅射及基片加热偏压调控功能；蒸发源需配置多位坩埚及高精度膜厚实时监控仪（精度达埃级）。系统将用于制备高致密金属电极、介质层、光学薄膜及超导材料等，满足微纳器件制造中对薄膜成分、厚度及均匀性的严苛要求，支撑半导体工艺研发与高端人才培养。
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| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： |
本项目非专门面向中小企业
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-04-11
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2026年铜陵学院铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目
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