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5000吨/年电子特气硅烷系列产品项目

审批

浙江-衢州-江山市

发布时间： 2026年04月13日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********271619H	李**
郑宏平	****园区
****园区华荫北路27号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

5000吨/年电子特气硅烷系列产品项目

2021版本:044-基础化学原料制造；农药制造；涂料、油墨、颜料及类似产品制造；合成材料制造；专用化学产品制造；炸药、火工及焰火产品制造	C2614-C2614-有机化学原料制造
	****园区华荫北路27号
经度:118.83857 纬度: 28.8955	**环境局**分局
	2023-11-08
衢环智造建〔2023〕58号	****
2020-08-17	69863
3627	******公司
913********271619H	******公司
****0803MA28F1XK63	爱**公司
****0110MA2CFGH642	2025-11-01

2026-03-12	2026-04-08
	https://www.****.com/

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无重大变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

5000吨/年电子特气硅烷系列产品项目	5000吨/年电子特气硅烷系列产品项目
无重大变动

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）拆包、投料硅粉投料系统配备先进的固体投料设备，具体流程：硅粉通过提升至32m层硅粉拆包操作平台，使用密闭拆包机，拆包机采用氮气保护，使硅粉顺利进入硅粉漏斗，硅粉漏斗中为常温常压状态。硅粉通过漏斗进入硅粉干燥器。硅粉和铜系催化剂各自通过一套拆包设备进行拆包投料，投料后混合。拆包和投料过程的粉尘废气采用滤芯除尘装置处理后高空排放。（2）冷氢化单元冷氢化单元是冶金级硅（MGS）、氢气（H2）、四氯化硅（STC）反应生成二氯硅烷（DCS）、三氯硅烷（TCS）、金属氯化物、金属－非金属化合物与非金属氢化物，第一步骤为四氯化硅做氢化反应，将四氯化硅氢化生成三氯硅烷（TCS），即三氯硅烷（TCS）产品的反应，然后从气体中分离液体。该单元工艺说明如下：进料系统是从来源端送到冶金级硅收集罐，该进料系统完全密封，在收集罐设置有MGS集尘器，收集的MGS粉尘外运处置。冶金级硅料输送之前，采用烘粉炉内以热氮气加热硅粉，烘粉炉外夹套以蒸汽加热将混合料中的少量水分去除，该过程将产生少量粉尘，经滤芯除尘器除尘处理。经干燥去除水分后的MGS由氮气输送至冶金级硅收集罐。冶金级硅收集罐通过重力输送将冶金级硅送至冶金级硅暂存罐，输送完成后，冶金级硅暂存罐中残留的氮气吹扫至碱洗塔。后续冶金级硅暂存罐使用氢气加压至冷氢化反应器的操作压力以上，将冶金级硅由顶部送入冷氢化反应器内。铜系催化剂投料进入冷氢化反应器，该过程少量粉尘经滤芯除尘后高空排放。四氯化硅和氢气从冷氢化反应器底部送入。四氯化硅经四氯化硅进料罐通过四氯化硅进料泵经四氯化硅进料罐热交换器升温，氢气从四氯化硅蒸发器进料，经四氯化硅薄膜蒸发器升温后与从四氯化硅进料罐热交换器出料的四氯化硅混合，经高压氢气脱气塔冷却器进行热交换后，再经电热器加热至550~570℃，送至冷氢化反应器底部进料，在流化床内进行TCS合成反应。在冷氢化反应器中，硅粉与四氯化硅、氢气在550℃左右、3.0MPaG 压力下进行气固流化反应，生成含一定比例三氯氢硅的氯硅烷混合气。 Si +3SiCl4 +2H2＝4SiHCl3 在冷氢化反应器中反应后的出料（含二氯硅烷、三氯硅烷、四氯化硅、氢气等）由出口送至旋风分离器将固、气分离，被旋风分离器分离下来的固态物主要成分为硅粉，高温气体会与冷氢化反应器的进料进行5组热交换后降温冷却，并送至蒸馏釜。旋风分离器分离的硅粉采用重力方式送到固态物收集罐，当固态物收集罐达到排放的粉位时，与其他设备隔离，将硅粉通过重力输送至浆式搅碎器，硅粉则从浆式搅碎器下到塑胶容器中收集作为固废处理。从蒸馏釜顶部出口的气体进入到高压氢气脱气塔用来分离大部分的氢气，蒸馏釜中残留的少量的固态物经氯硅烷搅拌罐冷却器后进入到氯硅烷搅拌罐，氯硅烷搅拌罐的操作压力为1.2MPaG，顶部的氢气送至重沸物移除塔，底部的固态悬浮液送至两级固液旋风分离器，分离出的底渣送至固废收集罐，然后定期排放至制程废液暂存罐暂存。高压氢气脱气塔顶部出口设有高压氢气脱气塔冷却水冷凝器和高压氢气脱气塔冷冻液冷凝器，用来冷凝从高压氢气脱气塔顶部出口的氯硅烷气体（主要成分为一氯硅烷、二氯硅烷、三氯硅烷及四氯化硅），被冷凝下来的氯硅烷液体回流到高压氢气脱气塔顶部，从高压氢气脱气塔底部流出的液态氯硅烷则送至蒸馏釜。高压氢气脱气塔冷冻液冷凝器出口的氢气温度为-40℃，通过高压氢气脱气塔气热交换器将氢气加热到18℃后，经循环氢压机送至四氯化硅壶式蒸发器作为冷氢化反应器原料。（3）纯化单元纯化单元为做三氯硅烷（TCS）的纯化、四氯化硅（STC）的回收及收集制程废液。该工序工艺说明如下：流化床反应工序来的反应物料经过滤后，先送重沸物移除塔入料预热器进行预热，再送到重沸物移除塔（操作温度109℃，操作压力0.74MPa），重沸物移除塔主要用于分离三氯硅烷（沸点32℃，1atm）、二氯硅烷（沸点8℃，1atm）和高沸点的四氯化硅（沸点56℃，1atm）。从重沸物移除塔顶部分出的三氯硅烷气体经重沸物移除塔冷却水冷凝器和重沸物移除塔冷冻液冷凝器冷凝后，部分送回蒸馏塔回流，部分送到轻沸物移除塔，未冷凝气体送至碱洗塔处理后排放。由重沸物移除塔侧边出料的四氯化硅，通过料预热器进行热交换冷却后，送到四氯化硅进料罐作为原料。重沸物移除塔底部塔底液则送至四氯化硅回收塔。轻沸物移除塔主要用于分离三氯硅烷与二氯硅烷，从轻沸物移除塔（操作温度84℃，操作压力0.63MPa）出来的氯硅烷气体送至轻沸物移除塔冷凝器冷凝，冷凝下来的液体送回蒸馏塔回流，未冷凝的气体送至碱洗塔处理后排放。轻沸物移除塔底部高纯度的三氯硅烷送入罐区储存。另外，通过修改重沸物移除塔和轻沸物移除塔的操作温度条件，可得到纯度99.99%以上的高纯度三氯硅烷。重沸物移除塔的塔底液送至四氯化硅回收塔（操作压力0.41MPa，操作温度84℃），从四氯化硅回收塔顶部蒸出的气体送至四氯化硅回收塔冷凝器，冷凝下来的液体主要为四氯化硅，送到上个冷氢化工序循环回用。未冷凝气体送碱洗塔处理后排放，四氯化硅回收塔塔底料定期外排，送废液暂存罐暂存。（4）歧化单元歧化单元是将上游工序生产的高纯度三氯硅烷，经两个重组反应来做硅烷的制造及纯化。第一个重组反应是将三氯硅烷转为二氯硅烷与四氯化硅，第二个重组反应将二氯硅烷转化为硅甲烷与氯硅烷。 ① 二氯硅烷制造及纯化上游工序生成的高纯度的三氯硅烷进入二氯硅烷重组罐进行重组反应，二氯硅烷重组罐是一个含有离子交换树脂的填充床式重组罐，操作温度介于80~100℃，操作压力为0.56MPaG。重组罐的生成物送至二氯硅烷蒸馏塔蒸馏。二氯硅烷蒸馏塔操作压力为0.39MPaG，操作温度为57℃，主要用于分离二氯硅烷、三氯硅烷和四氯化硅。塔顶蒸出的气体经二氯硅烷蒸馏塔冷却水冷凝器及二氯硅烷蒸馏塔冷冻液冷凝器后的液体送回蒸馏塔回流，最后送到硅烷重组罐进料罐暂存，未冷凝的气体送碱洗塔处理后排放。二氯硅烷蒸馏塔塔底的液体用二氯硅烷蒸馏塔底部泵输送至三氯硅烷和四氯化硅分离塔。从二氯硅烷蒸馏塔冷凝下来的一部分液体送回蒸馏塔回流，另一部分液体送至二氯硅烷纯化塔将二氯硅烷和一氯硅烷分离，二氯硅烷纯化塔的操作压力为0.05MPaG，操作温度为35℃。二氯硅烷纯化塔塔顶蒸出的气体送至二氯硅烷纯化塔冷凝器，冷凝后的二氯硅烷回流至二氯硅烷纯化塔，其他未冷凝的气体送碱洗塔处理后排放。二氯硅烷纯化塔底部设二氯硅烷纯化塔再沸器，从二氯硅烷纯化塔再沸器流出的二氯硅烷液体经蒸发后，再经二氯硅烷蒸馏塔底部冷凝器冷却后，送至二氯硅烷进料罐，最后再送至DCS灌充区。四氯化硅分离塔主要用于分离三氯硅烷和四氯化硅，操作压力为0.61MPaG，操作温度为102℃，顶部蒸汽经三氯硅烷、四氯化硅分离塔冷凝器冷却至80℃后，部分液体回流至四氯化硅分离塔，其余液体回流至二氯硅烷重组罐，未冷凝的气体送碱洗塔处理后排放。四氯化硅分离塔塔底液送至三氯硅烷、四氯化硅分离塔再沸器，分离塔再沸器底部出料为高纯度四氯硅烷，纯度达99.99%以上，送至三氯硅烷、四氯化硅分离塔塔底冷却器做冷却，冷却后送至罐区储存。 ② 硅烷的制造和纯化硅烷重组槽进料罐暂存的二氯硅烷经硅烷重组罐进料泵输送至硅烷重组罐中发生重组反应，硅烷重组罐为含有催化剂（离子交换树脂）的填充床式重组罐，操作温度40~60℃，操作压力为2.7MPaG，硅烷重组罐的反应生成物将送至硅烷粗馏塔进行初步分离。粗硅烷蒸馏塔操作温度-26℃，操作压力为2.67MPaG，粗硅烷蒸馏塔顶部蒸汽流至粗硅烷蒸馏塔冷凝器冷凝，冷凝后的液体回流至粗硅烷蒸馏塔，粗馏后硅烷蒸馏物送至硅烷重沸物分离塔。硅烷重沸物分离塔用来分离硅烷和重沸物，操作压力为2.6MPaG，操作温度-27℃，塔顶蒸汽流至硅烷重沸物分离塔冷凝器，冷凝后的液体回流至硅烷重沸物分离塔，气态蒸馏物则送至硅烷纯化塔。硅烷纯化塔用来分离硅烷和轻沸物，操作压力为2.53MPaG，操作温度-29℃，塔顶蒸汽流至硅烷纯化塔冷凝器及硅烷纯化塔尾气冷凝器，硅烷纯化塔冷凝器使用合成导热油作为冷却介质，硅烷纯化塔尾气冷凝器使用R23冷媒作为冷却介质，冷凝后的硅烷回流至硅烷纯化塔，未冷凝气体送至碱洗塔处理后排放。硅烷纯化塔塔底的硅烷纯度可达99.9999%以上，经硅烷纯化塔再沸器加热成气态后，送至硅粉和硅炭复合材料生产线作为原料。以上流程中重组分脱除塔塔顶馏出物为液相三氯硅烷产品，纯度≥99.999%wt，经过冷却后进入三氯硅烷产品罐中缓存，后经过输送泵增压后送至氯硅烷灌装区进行三氯硅烷产品灌装；塔底液体主要为四氯硅烷（STC）返回至冷氢化单元。流程中一氯硅烷/二氯硅烷精分塔分离其中的一氯硅烷和二氯硅烷，塔顶产品一氯硅烷再经过一氯硅烷提纯塔，塔顶产品为低温液态一氯硅烷，浓度≥99.999%wt，作为产品送至氯硅烷灌装车间进行灌装。塔底的二氯硅烷经过二氯硅烷提纯塔提纯，塔顶产品为高纯二氯硅烷，浓度≥99.999%wt，送至氯硅烷灌装车间进行灌装。流程中硅烷产品塔塔底得到纯度≥99.9999%wt 的成品硅烷，经过冷凝器液化进入液态硅烷检验罐（2×49m3），储罐容量不大于24小时的产量，合格产品送至硅粉和硅炭复合材料生产线作为原料。经过提纯后的三氯硅烷（TCS）、二氯硅烷（DCS）、一氯硅烷（MCS），经在线分析合格后，进入到灌装流程。管道和灌装柜内经过吹扫、置换、检漏合格后，产品通过压力差进入到产品容器中，根据不同客户的要求，这些产品被灌充到钢瓶、ISO罐车等。灌装完成后，管道内残气排入到废气总管处理。	（1）拆包、投料硅粉投料系统配备先进的固体投料设备，具体流程：硅粉通过提升至32m层硅粉拆包操作平台，使用密闭拆包机，拆包机采用氮气保护，使硅粉顺利进入硅粉漏斗，硅粉漏斗中为常温常压状态。硅粉通过漏斗进入硅粉干燥器。硅粉和铜系催化剂按20:1配比混合投料，另一套拆包投料设备作为备用，轮换使用。拆包和投料过程的粉尘废气采用滤芯除尘装置处理后高空排放。（2）冷氢化单元冷氢化单元是冶金级硅（MGS）、氢气（H2）、四氯化硅（STC）反应生成二氯硅烷（DCS）、三氯硅烷（TCS）、金属氯化物、金属－非金属化合物与非金属氢化物，第一步骤为四氯化硅做氢化反应，将四氯化硅氢化生成三氯硅烷（TCS），即三氯硅烷（TCS）产品的反应，然后从气体中分离液体。该单元工艺说明如下：进料系统是从来源端送到冶金级硅收集罐，该进料系统完全密封，在收集罐设置有MGS集尘器，收集的MGS粉尘外运处置。冶金级硅料输送之前，采用烘粉炉内以热氮气加热硅粉，烘粉炉外夹套以蒸汽加热将混合料中的少量水分去除，该过程将产生少量粉尘，经滤芯除尘器除尘处理。经干燥去除水分后的MGS由氮气输送至冶金级硅收集罐。冶金级硅收集罐通过重力输送将冶金级硅送至冶金级硅暂存罐，输送完成后，冶金级硅暂存罐中残留的氮气吹扫至碱洗塔。后续冶金级硅暂存罐使用氢气加压至冷氢化反应器的操作压力以上，将冶金级硅由顶部送入冷氢化反应器内。铜系催化剂投料进入冷氢化反应器，该过程少量粉尘经滤芯除尘后高空排放。四氯化硅和氢气从冷氢化反应器底部送入。四氯化硅经四氯化硅进料罐通过四氯化硅进料泵经四氯化硅进料罐热交换器升温，氢气从四氯化硅蒸发器进料，经四氯化硅薄膜蒸发器升温后与从四氯化硅进料罐热交换器出料的四氯化硅混合，经高压氢气脱气塔冷却器进行热交换后，再经电热器加热至550~570℃，送至冷氢化反应器底部进料，在流化床内进行TCS合成反应。在冷氢化反应器中，硅粉与四氯化硅、氢气在550℃左右、3.0MPaG 压力下进行气固流化反应，生成含一定比例三氯氢硅的氯硅烷混合气。 Si +3SiCl4 +2H2＝4SiHCl3 在冷氢化反应器中反应后的出料（含二氯硅烷、三氯硅烷、四氯化硅、氢气等）由出口送至旋风分离器将固、气分离，被旋风分离器分离下来的固态物主要成分为硅粉，高温气体会与冷氢化反应器的进料进行5组热交换后降温冷却，并送至蒸馏釜。旋风分离器分离的硅粉采用重力方式送到固态物收集罐，当固态物收集罐达到排放的粉位时，与其他设备隔离，将硅粉通过重力输送至浆式搅碎器，硅粉则从浆式搅碎器下到塑胶容器中收集作为固废处理。从蒸馏釜顶部出口的气体进入到高压氢气脱气塔用来分离大部分的氢气，蒸馏釜中残留的少量的固态物经氯硅烷搅拌罐冷却器后进入到氯硅烷搅拌罐，氯硅烷搅拌罐的操作压力为1.2MPaG，顶部的氢气送至重沸物移除塔，底部的固态悬浮液送至两级固液旋风分离器，分离出的底渣送至固废收集罐，然后定期排放至制程废液暂存罐暂存。高压氢气脱气塔顶部出口设有高压氢气脱气塔冷却水冷凝器和高压氢气脱气塔冷冻液冷凝器，用来冷凝从高压氢气脱气塔顶部出口的氯硅烷气体（主要成分为一氯硅烷、二氯硅烷、三氯硅烷及四氯化硅），被冷凝下来的氯硅烷液体回流到高压氢气脱气塔顶部，从高压氢气脱气塔底部流出的液态氯硅烷则送至蒸馏釜。高压氢气脱气塔冷冻液冷凝器出口的氢气温度为-40℃，通过高压氢气脱气塔气热交换器将氢气加热到18℃后，经循环氢压机送至四氯化硅壶式蒸发器作为冷氢化反应器原料。（3）纯化单元纯化单元为做三氯硅烷（TCS）的纯化、四氯化硅（STC）的回收及收集制程废液。该工序工艺说明如下：流化床反应工序来的反应物料经过滤后，先送重沸物移除塔入料预热器进行预热，再送到重沸物移除塔（操作温度109℃，操作压力0.74MPa），重沸物移除塔主要用于分离三氯硅烷（沸点32℃，1atm）、二氯硅烷（沸点8℃，1atm）和高沸点的四氯化硅（沸点56℃，1atm）。从重沸物移除塔顶部分出的三氯硅烷气体经重沸物移除塔冷却水冷凝器和重沸物移除塔冷冻液冷凝器冷凝后，部分送回蒸馏塔回流，部分送到轻沸物移除塔，未冷凝气体送至碱洗塔处理后排放。由重沸物移除塔侧边出料的四氯化硅，通过料预热器进行热交换冷却后，送到四氯化硅进料罐作为原料。重沸物移除塔底部塔底液则送至四氯化硅回收塔。轻沸物移除塔主要用于分离三氯硅烷与二氯硅烷，从轻沸物移除塔（操作温度84℃，操作压力0.63MPa）出来的氯硅烷气体送至轻沸物移除塔冷凝器冷凝，冷凝下来的液体送回蒸馏塔回流，未冷凝的气体送至碱洗塔处理后排放。轻沸物移除塔底部高纯度的三氯硅烷送入罐区储存。另外，通过修改重沸物移除塔和轻沸物移除塔的操作温度条件，可得到纯度99.99%以上的高纯度三氯硅烷。重沸物移除塔的塔底液送至四氯化硅回收塔（操作压力0.41MPa，操作温度84℃），从四氯化硅回收塔顶部蒸出的气体送至四氯化硅回收塔冷凝器，冷凝下来的液体主要为四氯化硅，送到上个冷氢化工序循环回用。未冷凝气体送碱洗塔处理后排放，四氯化硅回收塔塔底料定期外排，送废液暂存罐暂存。（4）歧化单元歧化单元是将上游工序生产的高纯度三氯硅烷，经两个重组反应来做硅烷的制造及纯化。第一个重组反应是将三氯硅烷转为二氯硅烷与四氯化硅，第二个重组反应将二氯硅烷转化为硅甲烷与氯硅烷。 ① 二氯硅烷制造及纯化上游工序生成的高纯度的三氯硅烷进入二氯硅烷重组罐进行重组反应，二氯硅烷重组罐是一个含有离子交换树脂的填充床式重组罐，操作温度介于80~100℃，操作压力为0.56MPaG。重组罐的生成物送至二氯硅烷蒸馏塔蒸馏。二氯硅烷蒸馏塔操作压力为0.39MPaG，操作温度为57℃，主要用于分离二氯硅烷、三氯硅烷和四氯化硅。塔顶蒸出的气体经二氯硅烷蒸馏塔冷却水冷凝器及二氯硅烷蒸馏塔冷冻液冷凝器后的液体送回蒸馏塔回流，最后送到硅烷重组罐进料罐暂存，未冷凝的气体送碱洗塔处理后排放。二氯硅烷蒸馏塔塔底的液体用二氯硅烷蒸馏塔底部泵输送至三氯硅烷和四氯化硅分离塔。从二氯硅烷蒸馏塔冷凝下来的一部分液体送回蒸馏塔回流，另一部分液体送至二氯硅烷纯化塔将二氯硅烷和一氯硅烷分离，二氯硅烷纯化塔的操作压力为0.05MPaG，操作温度为35℃。二氯硅烷纯化塔塔顶蒸出的气体送至二氯硅烷纯化塔冷凝器，冷凝后的二氯硅烷回流至二氯硅烷纯化塔，其他未冷凝的气体送碱洗塔处理后排放。二氯硅烷纯化塔底部设二氯硅烷纯化塔再沸器，从二氯硅烷纯化塔再沸器流出的二氯硅烷液体经蒸发后，再经二氯硅烷蒸馏塔底部冷凝器冷却后，送至二氯硅烷进料罐，最后再送至DCS灌充区。四氯化硅分离塔主要用于分离三氯硅烷和四氯化硅，操作压力为0.61MPaG，操作温度为102℃，顶部蒸汽经三氯硅烷、四氯化硅分离塔冷凝器冷却至80℃后，部分液体回流至四氯化硅分离塔，其余液体回流至二氯硅烷重组罐，未冷凝的气体送碱洗塔处理后排放。四氯化硅分离塔塔底液送至三氯硅烷、四氯化硅分离塔再沸器，分离塔再沸器底部出料为高纯度四氯硅烷，纯度达99.99%以上，送至三氯硅烷、四氯化硅分离塔塔底冷却器做冷却，冷却后送至罐区储存。 ② 硅烷的制造和纯化硅烷重组槽进料罐暂存的二氯硅烷经硅烷重组罐进料泵输送至硅烷重组罐中发生重组反应，硅烷重组罐为含有催化剂（离子交换树脂）的填充床式重组罐，操作温度40~60℃，操作压力为2.7MPaG，硅烷重组罐的反应生成物将送至硅烷粗馏塔进行初步分离。粗硅烷蒸馏塔操作温度-26℃，操作压力为2.67MPaG，粗硅烷蒸馏塔顶部蒸汽流至粗硅烷蒸馏塔冷凝器冷凝，冷凝后的液体回流至粗硅烷蒸馏塔，粗馏后硅烷蒸馏物送至硅烷重沸物分离塔。硅烷重沸物分离塔用来分离硅烷和重沸物，操作压力为2.6MPaG，操作温度-27℃，塔顶蒸汽流至硅烷重沸物分离塔冷凝器，冷凝后的液体回流至硅烷重沸物分离塔，气态蒸馏物则送至硅烷纯化塔。硅烷纯化塔用来分离硅烷和轻沸物，操作压力为2.53MPaG，操作温度-29℃，塔顶蒸汽流至硅烷纯化塔冷凝器及硅烷纯化塔尾气冷凝器，硅烷纯化塔冷凝器使用合成导热油作为冷却介质，硅烷纯化塔尾气冷凝器使用R23冷媒作为冷却介质，冷凝后的硅烷回流至硅烷纯化塔，未冷凝气体送至碱洗塔处理后排放。硅烷纯化塔塔底的硅烷纯度可达99.9999%以上，经硅烷纯化塔再沸器加热成气态后，送至硅粉和硅炭复合材料生产线作为原料。以上流程中重组分脱除塔塔顶馏出物为液相三氯硅烷产品，纯度≥99.999%wt，经过冷却后进入三氯硅烷产品罐中缓存，后经过输送泵增压后送至氯硅烷灌装区进行三氯硅烷产品灌装；塔底液体主要为四氯硅烷（STC）返回至冷氢化单元。流程中一氯硅烷/二氯硅烷精分塔分离其中的一氯硅烷和二氯硅烷，塔顶产品一氯硅烷再经过一氯硅烷提纯塔，塔顶产品为低温液态一氯硅烷，浓度≥99.999%wt，作为产品送至氯硅烷灌装车间进行灌装。塔底的二氯硅烷经过二氯硅烷提纯塔提纯，塔顶产品为高纯二氯硅烷，浓度≥99.999%wt，送至氯硅烷灌装车间进行灌装。流程中硅烷产品塔塔底得到纯度≥99.9999%wt 的成品硅烷，经过冷凝器液化进入液态硅烷检验罐（2×49m3），储罐容量不大于24小时的产量，合格产品送至硅粉和硅炭复合材料生产线作为原料。经过提纯后的三氯硅烷（TCS）、二氯硅烷（DCS）、一氯硅烷（MCS），经在线分析合格后，进入到灌装流程。管道和灌装柜内经过吹扫、置换、检漏合格后，产品通过压力差进入到产品容器中，根据不同客户的要求，这些产品被灌充到钢瓶、ISO罐车等。灌装完成后，管道内残气排入到废气总管处理。
无重大变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、废水（1）碱洗塔洗涤废水：本项目装置区、灌装区、储罐区各配备一套碱洗塔装置，废气中含氯废气送碱洗塔中和处理，废气中硅烷、氯硅烷水解后进一步与碱溶液发生反应生成SiO2、Na2SiO3和NaCl，该废水送的污水站“中和+混凝沉淀+压滤”处理后接入企业原污水站排放池一并纳处理厂处理。（2）生活污水：本项目定员89人，年工作天数333.3天，生活污水经化粪池处处理厂处理。（3）初期雨水：生产区部分装置区、储罐区等露天设施及道路的初期雨水可能会受到污染，均需要收集并纳入原污水站“物化+生化”预处理设施进行处理后，纳管处理厂处理。（4）循环冷却水排水：本项目生产需冷却水循环，依托现有冷却水系统，供水温度33℃，回水温度39℃。新增的循环冷却水循环使用，定期补充和外排，外排水质较简单，可直接纳管。补充新鲜水量一部分蒸发损失和风吹损失，一部分排污。（5）蒸汽冷凝水：本项目蒸汽由巨宏热电供汽管网经外管道接入，蒸汽为夹套使用，冷凝水经收集后最终一部分到碱洗塔补水，一部分到循环冷却水塔补水。 2、废气（1）拆包、投料粉尘：硅粉干燥：0硅粉通过提升至32m层硅粉拆包操作平台，使用密闭拆包机，拆包机采用氮气保护，使硅粉顺利进入硅粉漏斗，硅粉漏斗中为常温常压状态，拆包投料工位设有集气罩装置，投料过程会有少量逸散的硅粉尘废气；铜系催化剂在冷氢化反应器**行拆包投料，工位设有集气罩装置，投料过程会有少量逸散的铜系催化剂粉尘废气。硅粉投料线配备1套布袋除尘装置处理粉尘废气；铜系催化剂投料线配备1套滤芯除尘装置处理粉尘废气；两处废气经同一根35m排气筒（DA010）高空排放。（2）烘粉炉粉尘：冶金级硅输送至进料系统之前需要干燥，干燥除去水分的过程会带出少量粉尘，冶金级硅干燥后输送至进料系统，在输送设备设置有滤芯除尘器，烘粉炉产生的硅粉废气经收集滤芯除尘处理后接入两级碱洗塔装置，最后经30m高排气筒（DA012）高空排放。（3）冷氢化装置硅粉尘：冷氢化反应器产生的废硅粉及废催化剂混合物先通过氢气压入废粉暂存罐中作为固废收集，后经过氮气吹扫，另有的硅粉废气随氢气一并排出，装置区密闭管道连接，废气送布袋除尘处理后单独通过一根35m排气筒（DA011）高空排放。（4）硅烷产品工艺废气：本项目车间工艺废气主要来自粗馏塔、轻组分脱除塔、硅烷重组分塔、四氯化硅轻组分回收等塔顶废气，主要废气有氯硅烷废气、硅烷和H2等，为保持塔顶蒸汽压力，需要外排不凝汽。由于氯硅烷遇水极易水解生成HCl，最终排放物以HCl计；硅烷水解生产H2，最终排放物以H2计。装置区、原料罐区和产品灌装区3套碱洗塔由于氯硅烷类废气安全防护的原因，设备均为正压排气，不设废气风机。故本项目含氯硅烷的工艺废气和含硅烷的工艺废气均送至两级碱洗塔处理后排放。（5）产品灌装废气：氯硅烷产品灌装间设置在预留地块的西南侧，采取在产品包装机和产品罐接口安装密闭性较高的接口，同时设置集气设施，以加强废气收集，减少无组织排放，废气收集效率按照99%考虑，其余为无组织排放。灌装间单独设置一套一级碱洗装置处理灌装废气，由于氯硅烷遇水极易水解生成HCl，环评中以HCl计。本项目生产的硅烷产品自用，用于生产硅炭材料，不进行灌装工序，依托厂区现有硅烷储存单元储罐。（6）储罐呼吸废气：本项目储罐呼吸废气主要为原料罐、废液罐日常装卸、装车工作损耗废气。储罐区配套一级碱洗装置，收集废气经碱洗塔处理后高空排放，由于氯硅烷遇水极易水解生成HCl，环评中以HCl计。三氯硅烷仅在产品试车阶段使用，采用外购原料，正常生产后不外购。	1、废水（1）碱洗塔洗涤废水：项目实际中碱洗塔洗涤废水送的污水站“中和+混凝沉淀+压滤”处理后部分回用，回用水中的盐分超过一定指标后采用三效蒸发处理后再回用；部分进入原污水站排放池一并纳管至衢公司污水处理厂，处理后达标后排入乌溪江。（2）生活污水：项目实际与环评一致，生活污水经化粪池处处理厂，处理达标后均排放乌溪江。（3）初期雨水：项目实际与环评一致，初期雨水收集后纳入原污水站“物化+生化”预处理设施进行处理后，纳管排入衢公司污水处理厂，处理后达标后排入乌溪江。（4）循环冷却水排水：项目实际与环评一致，新增的循环冷却水循环使用，定期补充和外排，外排水质较简单，可直接纳管。补充新鲜水量一部分蒸发损失和风吹损失，一部分排污，最终排入港。5）蒸汽冷凝水：项目实际废水处理方式与环评设计一致，经收集后最终一部分到碱洗塔补水，一部分到循环冷却水塔补水。 2、废气（1）拆包、投料粉尘：本项目实际建设中，冶金硅粉和铜催化剂按20:1的比例进行拆包、投料，产生的粉尘废气经收集后送滤芯除尘装置/布袋除尘装置（两套装置轮换使用）处理后同一根35m排气筒（DA016）高空排放。（2）烘粉炉粉尘：项目实际建设中，烘粉炉产生的硅粉废气由收集布袋除尘装置处理后经35m高排气筒（DA011）高空排放。3）冷氢化装置硅粉尘：项目实际建设中，企业实际冷氢化废气中氢气（含粉尘）经布袋除尘处理后循环使用，不外排，停机时，除尘后的极少量废气并入项目综合废气排放口，与储罐废气和工艺废气等综合废气的二级碱洗工艺处理后于30m高空排放（DA012）。（4）硅烷产品工艺废气：项目实际建设中，硅烷产品工艺废气（氯硅烷废气、硅烷废气等）产生的废气由项目综合废气排放口（储罐呼吸废气排放口）处理，送两级碱洗塔装置处理后经30m高排气筒（DA012）高空排放。（5）产品灌装废气：项目实际建设中，该废气排放口属于一般排放口，周边建筑物高度未超过15m，产品灌装产生的HCl由两级碱洗塔装置处理后经15m高排气筒（DA013）高空排放。（6）储罐呼吸废气：项目实际建设中，储罐呼吸废气收集后经两级碱洗塔处理后由30m高排气筒（DA012）高空排放。
无重大变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

加强日常环保管理和环境风险防范与应急。你公司应加强员工环保技能培训，健全各项环境管理制度；将污染防治设施环境安全风险管控纳入企业安全生产体系，各污染防治设施运行信息接入DCS控制系统;落实环保设施安全生产工作要求，委托有资质的设计单位对建设项目重点环保设施进行设计；编制全厂突发环境事件应急预案，并在项目投运前报当地生态环境部门备案。突发环境事****政府和相关部门以及周边企业的应急预案相衔接。加强应急物资调配管理，定期开展应急演习。设置足够容量的环境应急事故池及初期雨水收集池，确保生产事故污水、受污染消防水和污染雨水不排入外环境。在发生突发环境事件时，应当立即采取措施处理，及时通报可能受到危害的单位和居民，并向生态环境部门报告。有效防范因污染物事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险，确保周边环境安全。	企业已建立环评报告提出的各项风险防范与应急要求。企业成立了**领导小组。目前企业已根据《中华人民国环境保护法》、《突发环境污染事故应急预案管理办法》（环保部环发[2010]113 号）等法律法规的要求，已经编制了突发环境事件应急预案并备案（330802-2026-011-H）。根据公司的生产实际情况，对所有存在的风险进行辩识，对辨识的重要环境风险因素采取控制措施。目前已经在雨水排放口设置了截止阀以及事故切换阀。
无重大变动

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0
4.301	70.52	4.301	4.301
0.0622	6.846	0.062	0.062
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0.163	0	0	/
0	7.445	0	0	/
0.148	4.212	0.148	0.148	/
0	9.388	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	生产废水处理设施	生产废水排放口（DW001）纳管出水执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，其中氨氮、总磷指标纳管执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013），**处理厂≤3000mg/L的进管标准。处理厂的外排污水主要执行《处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准。企业后期**园区雨水管网排入沙溪沟。	（1）碱洗塔洗涤废水：项目实际中碱洗塔洗涤废水送的污水站“中和+混凝沉淀+压滤”处理后部分回用，回用水中的盐分超过一定指标后采用三效蒸发处理后再回用；部分进入原污水站排放池一并纳管至衢公司污水处理厂，处理后达标后排入乌溪江。（2）初期雨水：项目实际与环评一致，初期雨水收集后纳入原污水站“物化+生化”预处理设施进行处理后，纳管排入衢公司污水处理厂，处理后达标后排入乌溪江。（3）循环冷却水排水：项目实际与环评一致，新增的循环冷却水循环使用，定期补充和外排，外排水质较简单，可直接纳管。补充新鲜水量一部分蒸发损失和风吹损失，一部分排污，最终排入港。（5）蒸汽冷凝水：项目实际废水处理方式与环评设计一致，经收集后最终一部分到碱洗塔补水，一部分到循环冷却水塔补水。	项目生产废水排口pH值范围为6.7-6.8，化学需氧量、氨氮、总磷、悬浮物、动植物油类、石油类、氟化物、氯离子最大日均值浓度分别为118mg/L、0.947mg/L、0.05mg/L、45mg/L、0.12mg/L、0.08mg/L、12.3mg/L、345mg/L。项目生产废水排放口（DW001）纳管标准执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，其中氨氮、总磷平均排放浓度均符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013），即pH6-9、化学需氧量≤500mg/L、动植物油≤100mg/L、悬浮物≤400mg/L、石油类≤20mg/L、氨氮≤35mg/L、总磷≤8mg/L、氟化物≤20mg/L、氯离子**处理厂≤3000mg/L的进管标准；项目雨水pH、化学需氧量、氨氮最大日均浓度均满足《市水生态环境保护暨治水长效战 2022 年度工作计划》的标准限值要求（绿色产业集聚区）文件要求。
2	生活污水处理设施	企业生活污水纳管标准执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，其中氨氮、总磷纳管标准执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013），经预处理后纳管去**处理厂处理，处理厂化学需氧量、氨氮、总氮和总磷4项指标出水水质执行《处理厂主要水污染物排放标准》（DB33/2169-2018），其余指标执行《**处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中的一级A标准。	生活污水经化粪池处****处理厂，处理达标后均排放乌溪江。	项目生活污水纳管口pH值范围为7.1-7.4，化学需氧量、氨氮、总磷、动植物油类、悬浮物、石油类、总氮最大日均值浓度分别为118mg/L、14.1mg/L、1.19mg/L、0.62mg/L、45mg/L、0.08mg/L、21.4mg/L。项目生活污水排放口（DW002）的pH值、化学需氧量、动植物油类、悬浮物、石油类平均排放浓度均符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，其中氨氮、总磷平均排放浓度均符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013），即pH6-9、化学需氧量≤500mg/L、动植物油≤100mg/L、悬浮物≤400mg/L、石油类≤20mg/L、氨氮≤35mg/L、总磷≤8mg/L。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DA016 拆包投料粉尘处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）。	冶金硅粉和铜催化剂按20:1的比例进行拆包、投料，产生的粉尘废气经收集后送滤芯除尘装置/布袋除尘装置（两套装置轮换使用）处理后同一根35m排气筒（DA016）高空排放	DA016 拆包投料粉尘处理设施出口◎1#颗粒物的最大日均值为1.2mg/m3，最大排放速率为1.88×10-3kg/h；
2	DA011 烘粉炉粉尘处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	烘粉炉产生的硅粉废气由收集布袋除尘装置处理后经35m高排气筒（DA011）高空排放	DA011 烘粉炉粉尘处理设施出口◎2#颗粒物和氯化氢的最大日均值分别为2.7mg/m3、4.0mg/m3，最大排放速率为分别为8.64×10-4kg/h、2×10-3kg/h
3	DA012 储罐区碱洗塔废气	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	冷氢化废气中氢气（含粉尘）经布袋除尘处理后循环使用，不外排，停机时，除尘后的极少量废气并入项目综合废气排放口，与储罐废气和工艺废气等综合废气的二级碱洗工艺处理后于30m高空排放（DA012）；装置区的工艺废气（氯硅烷废气、硅烷废气等）由项目综合废气排放口(储罐呼吸废气排放口)处理，送两级碱洗塔装置处理后经30m高排气筒(DA012)高空排放；储罐呼吸废气收集后经两级碱洗塔处理后由30m高排气筒(DA012)高空排放。	DA012 储罐区碱洗塔废气处理设施出口◎5#氯化氢的最大日均值为4.2mg/m3，最大排放速率为4×10-3kg/h。
4	DA013 灌装区碱洗塔废气处理设施	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	产品灌装产生的HCl由两级碱洗塔装置处理后经15m高排气筒(DA013)高空排放（该废气排放口属于一般排放口，周边建筑物高度未超过15m）	DA013 灌装区碱洗塔废气处理设施出口◎4#氯化氢的最大日均值为4.3mg/m3，最大排放速率为7.51×10-4kg/h；

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

东厂界符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）4类标准；南，西，北厂界符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准；敏感点昼夜间噪声测量值均符合《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的2类标准。

（1）对水泵等类的噪声设备安装隔声罩。此外，为减少隔声罩与罩壁产生共振与吻合效应，在罩壁内应粘衬簿橡胶层，以增加阻尼效果。（2）对于风机类设备的进出口管道，采取适当隔声措施。较大型机泵类设备还应加装防振垫片，减少振动引起的噪声。（3）大型压缩机采取减振措施。（4）加强设备的维护，确保设备处于良好的运转状态，杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象。（5）在工程设计、设备选型、管线设计、隔声消声设计时要严格按照《工业企业噪声控制设计规范》GBJ87-85的要求进行。

本项目东厂界昼间噪声最大值为 67dB（A），夜间噪声最大值为54dB（A），南，西，北厂界四周监测点昼间噪声最大值为63dB（A），夜间噪声最大值为 53dB（A），敏感点昼间噪声最大值为 58dB（A），夜间噪声最大值为 48dB（A）。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强固废污染防治。按照“**化、减量化、无害化”处置原则，建立台账制度，规范设置废物暂存库，危险废物和一般固废分类收集、堆放、分质处置，尽可能实现**的综合利用。需委托处置的危险废物必须委托有相应危废处理资质且具备处理能力的单位进行处置。对委托处置危险废物的必须按照有关规定办理危险废物转移报批手续，严格执行危险废物转移联单制度。严禁委托无危险废物运输资质的单位运输危险废物，严禁委托无相应危废处理资质的个人和单位处置危险废物，严禁非法排放、倾倒、处置危险废物。

本项目产生的各类副产物主要为拆包投料收集的粉尘、烘粉炉收集的粉尘、冷氢化系统废粉、废布袋和废滤芯、废硼磷吸附剂、废歧化催化剂、精馏残液、一般废包装材料、沾染危废的废包装材料、废矿物油、废水处理污泥、废油桶和生活垃圾。其中包投料收集的粉尘和烘粉炉收集的粉尘统一收集后回用到生产；一般废包装材料收集后外售综合利用，废水处理污泥委托****处置；废布袋、废滤芯、废硼磷吸附剂、废歧化催化剂、精馏残液、沾染危废的废包装材料、废矿物油、废水处理污泥、废油桶收集后暂存于危废暂存间，委托**金****公司处置。废盐委托**杭新****公司安全处置。生活垃圾由环卫部门清运处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

加强日常环保管理和环境风险防范与应急。你公司应加强员工环保技能培训，健全各项环境管理制度；将污染防治设施环境安全风险管控纳入企业安全生产体系，各污染防治设施运行信息接入DCS控制系统;落实环保设施安全生产工作要求，委托有资质的设计单位对建设项目重点环保设施进行设计；编制全厂突发环境事件应急预案，并在项目投运前报当地生态环境部门备案。突发环境事****政府和相关部门以及周边企业的应急预案相衔接。加强应急物资调配管理，定期开展应急演习。设置足够容量的环境应急事故池及初期雨水收集池，确保生产事故污水、受污染消防水和污染雨水不排入外环境。在发生突发环境事件时，应当立即采取措施处理，及时通报可能受到危害的单位和居民，并向生态环境部门报告。有效防范因污染物事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险，确保周边环境安全。

企业已建立环评报告提出的各项风险防范与应急要求。企业成立了****领导小组。目前企业已根据《中华人民**国环境保护法》、《突发环境污染事故应急预案管理办法》（环保部环发[2010]113 号）等法律法规的要求，已经编制了突发环境事件应急预案并备案（330802-2026-011-H）。根据公司的生产实际情况，对所有存在的风险进行辩识，对辨识的重要环境风险因素采取控制措施。目前已经在雨水排放口设置了截止阀以及事故切换阀。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程