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江苏路芯半导体技术有限公司半导体掩模版生产项目

审批
江苏-苏州
发布时间： 2026年04月13日
项目详情
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1、建设项目基本信息
企业基本信息
建设单位名称： 建设单位代码类型： 建设单位机构代码： 建设单位法人： 建设单位联系人： 建设单位所在行政区划： 建设单位详细地址：
****
****0594MACKBAX63Y孙学军
朱明伟****园区
****园区胜浦路177号
建设项目基本信息
项目名称： 项目代码： 项目类型： 建设性质： 行业类别（分类管理名录）： 行业类别（国民经济代码）： 工程性质： 建设地点： 中心坐标： ****机关： 环评文件类型： 环评批复时间： 环评审批文号： 本工程排污许可证编号： 排污许可批准时间： 项目实际总投资(万元)： 项目实际环保投资(万元)： 运营单位名称： 运营单位组织机构代码： 验收监测(调查)报告编制机构名称： 验收监测(调查)报告编制机构代码： 验收监测单位： 验收监测单位组织机构代码： 竣工时间： 调试起始时间： 调试结束时间： 验收报告公开起始时间： 验收报告公开结束时间： 验收报告公开形式： 验收报告公开载体：
****半导体掩模版生产项目****
2021版本:080-C3976-光电子器件制造
****园区 ****园区
经度:120.821881 纬度: 31.329298****环境局
2024-09-12
****0096****0594MACKBAX63Y001W
2024-12-16100000
1800****半导体掩模版生产项目
****0594MACKBAX63Y沃美环保****公司
****0594MA27EG4P7L**迈****公司
913********668839K2025-09-12
2026-03-112026-04-09
https://www.****.com/gs/detail/2?id=60311wCLfZ
2、工程变动信息
项目性质
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
****
无变动
规模
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
年生产45nm及以上制程节点光掩模版32000片、28nm制程节点光掩模版2880片第一阶段年生产45nm及以上制程节点光掩模版32000片
分阶段建设，分阶段验收。无变动
生产工艺
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
图档设计-曝光-烘烤-显影清洗-湿式蚀刻/干式蚀刻-去胶及清洗-光阻涂布-精度测量-缺陷检查-缺陷修补检验-最终清洗-贴光学膜-检查出货图档设计-曝光-烘烤-显影清洗-湿式蚀刻/干式蚀刻-去胶及清洗-光阻涂布-精度测量-缺陷检查-缺陷修补检验-最终清洗-贴光学膜-检查出货
无变动
环保设施或环保措施
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
废水：酸性生产废水、碱性生产废水、一般生产废水、载具清洗、碱性废气处理系统排水、酸性废气处理系统****处理站（2套污水处理系统，每套设计废水处理能力6.5t/h）处理，****园区污水管网；含铬清洗废水、含氯废气处理系统废水、1台冷却系统排水（编号01）进入1****处理站处理后回用于冷却系统，不外排；纯水制备浓水回用于冷却系统；7台冷却系统排水（编号02~08）、生活污水、****园区污水管网。废气：酸性废气密闭管道收集后经2套一级洗涤塔+一级活性炭处理通过25米高DA001排气筒排放；碱性废气密闭管道收集后经2套一级洗涤塔处理通过15米高DA002排气筒排放；有机废气密闭管道收集后经2套二级活性炭吸附装置通过15米高DA003排气筒排放；含氯废气密闭管道收集后经滤筒+电浆水洗+双层洗涤塔处理通过25米高DA004排气筒排放；食堂油烟专用烟道收集后经油烟净化器处理通过专用烟道排放。废水：酸性生产废水、碱性生产废水、一般生产废水、载具清洗、碱性废气处理系统排水、酸性废气处理系统****处理站（1套污水处理系统，每套设计废水处理能力6.5t/h）处理，****园区污水管网；含铬清洗废水、含氯废气处理系统废水、1台冷却系统排水（编号01）进入1****处理站处理后回用于冷却系统，不外排；纯水制备浓水回用于冷却系统；7台冷却系统排水（编号02~08）、生活污水、****园区污水管网。废气：酸性废气密闭管道收集后经1套一级洗涤塔+一级活性炭处理通过25米高DA001排气筒排放；碱性废气密闭管道收集后经1套一级洗涤塔处理通过15米高DA002排气筒排放；有机废气密闭管道收集后经1套二级活性炭吸附装置通过15米高DA003排气筒排放；含氯废气密闭管道收集后经滤筒+电浆水洗+双层洗涤塔处理通过25米高DA004排气筒排放；食堂油烟专用烟道收集后经油烟净化器处理通过专用烟道排放。
分阶段建设，分阶段验收。废气废水处理方式不变
其他
环评文件及批复要求： 实际建设情况： 变动情况及原因： 是否属于重大变动： 是否重新报批环境影响报告书(表)文件：
//
/
3、污染物排放量
污染物 现有工程（已建成的） 本工程（本期建设的） 总体工程 总体工程（现有工程+本工程） 排放方式 实际排放量 实际排放量 许可排放量 “以新带老”削减量 区域平衡替代本工程削减量 实际排放总量 排放增减量 废水 水量 （万吨/年） COD（吨/年） 氨氮（吨/年） 总磷（吨/年） 总氮（吨/年） SS(吨/年) LAS(吨/年) 废气 气量 （万立方米/年） 二氧化硫（吨/年） 氮氧化物（吨/年） 颗粒物（吨/年） 挥发性有机物（吨/年） 氨(吨/年) 氯气(吨/年) 食堂油烟(吨/年)
0 69028.09 117885.14 0 0 69028.09 69028.09
0 1.812 35.6355 0 0 1.812 1.812
0 0.0645 0.9795 0 0 0.065 0.065
0 0.3589 0.0876 0 0 0.359 0.359
0 0.009 2.2265 0 0 0.009 0.009
0 1.8379 24.807 0 0 1.838 1.838
0 0 0.0438 0 0 0 0
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0.0013 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0.008 0.0865 0 0 0.008 0.008 /
0 0.0964 0.2069 0 0 0.096 0.096 /
0 0.0011 0.0044 0 0 0.001 0.001 /
0 0.0044 0.148 0 0 0.004 0.004 /
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 ****处理站1 pH、COD、SS执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1标准，NH3-N、TN执行特别排放标准，氟化物执行《****处理厂污染物排放标准》（DB32/4440-2022）表4标准 酸碱中和+AAO活性污泥法+MBR膜法过滤+脱氮反应 pH、COD、SS、氨氮、总磷、总氮、氟化物（4次/天，连续监测2天）
2 ****处理站 《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T 19923-2024）中“冷却用水”相应指标 还原反应+精密过滤+树脂吸附+除铬树脂吸附 pH、COD、SS、TN、六价铬、总铬（4次/天，连续监测2天）
表2 大气污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 DA001 氟化物、硫酸雾、二氧化硫执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准；氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准 一级洗涤塔+一级活性炭 DA001进出口：氟化物、二氧化硫、硫酸雾、氨（3次/天，连续2天）
2 DA002 氨执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准 一级洗涤塔 DA002进出口：氨（3次/天，连续2天）
3 DA003 非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准 二级活性炭吸附装置 DA003进出口：非甲烷总烃（3次/天，连续2天）
4 DA004 铬及其化合物、氯气执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准 滤筒+电浆水洗+双层洗涤塔 DA004进出口：铬及其化合物、氯气（3次/天，连续2天）
5 油烟净化器 《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB 18483-2001） 油烟净化器 食堂油烟进、出口：油烟（5次/天，连续2天）
表3 噪声治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 隔声减振、距离衰减 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准 隔声减振、距离衰减 昼、夜间各监测1次，连续监测2天
表4 地下水污染治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表5 固废治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 一般固废经收集后统一外售处理；危****公司处理。一般固废暂存区12平方米，危废暂存区约45平方米 一般固废经收集后统一外售处理；危****公司处理，固废“零”排放。一般固废暂存区12平方米，已按要求落实防风防雨措施；危废暂存区约45平方米，已经落实防风防雨防泄漏、监控、以及相关标识标牌等措施
表6 生态保护设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表7 风险设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
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环保搬迁
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
/
区域削减
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
/
生态恢复、补偿或管理
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
/
功能置换
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
/
其他
环评文件及批复要求： 验收阶段落实情况： 是否落实环评文件及批复要求：
无无
/
6、工程建设对项目周边环境的影响
地表水是否达到验收执行标准： 地下水是否达到验收执行标准： 环境空气是否达到验收执行标准： 土壤是否达到验收执行标准： 海水是否达到验收执行标准： 敏感点噪声是否达到验收执行标准：
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7、验收结论
序号 根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》有关规定，请核实该项目是否存在下列情形：
1 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用
2 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求
3 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准
4 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复
5 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污
6 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要
7 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成
8 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理
9 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收
不存在上述情况
验收结论 合格
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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