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真空等离子 清洗机采购结果公告
招标详情
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相关单位：
***********公司企业信息
| 申购单主题： | 真空等离子 清洗机 | 申购单位： | **** | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 真空等离子 清洗机 | 纳恩科技 | NE-Q05H | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 保修3年，保修期内设备如出现故障（非人为损坏）乙方安排售后人员跟进处理，直至故障排除。质保期后，供应商为用户提供免费技术咨询以及相关检修费，期间只收取成本费。 1.随机配件及资料 设备交付时,提供操作、调试、维修的全套技术资料，包括使用说明书和维修手册。 2.安装 卖方向现场施工人员提供所需的所有细节,以便现场的设备安装。 3.培训 在安装期间，****工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。 4.设备交付使用与售后技术服务 卖方提供设备安装、操作和维护的文件，以为操作培训提供技术支持。设备交付使用后供应商无偿提供为期一年的技术支持与服务，无偿赔偿非人为操作失误造成的零部件损坏。不定期的派员跟踪设备运行状况。一年后供应商继续提供4年以上或终身技术服务。 卖方提供一份保证书副本，上面注明保修有效日期、覆盖范围以及卖方的联系人保修期内保证在接到使用方请求维修服务后24小时内派人前往。 | ||||||
| 规格 | 1. 等离子发生系统：采用13.56MHz固态射频电源，功率0-300W连续可调，功率稳定性≤±0.5%，配备0.1s高速自动阻抗匹配器，具备过压、过流、过温、反射功率四重防护机制，杜绝设备损坏风险。 2. 反应腔体：标配5L圆筒形石英耐热玻璃腔体，腔体尺寸Φ150×270mm，标配玻璃平行载物托盘，耐腐蚀、耐高温，透光性好，便于观察处理过程，腔体密封性能达标，无漏气隐患。 3. 气路控制系统：配备两路MFC质量流量计，搭载0–300SCCM高精度质量流量计，流量控制精准，支持氧气、氩气、氮气、氢气多种工艺气体切换，满足不同材料表面处理需求。 4. 真空系统：配套原装进口KASHIYAMA NEODRY 7E 全**式真空泵，最大排气速度110L/min，极限真空度可达1Pa，噪音≤60DB，吸气口KF40，排气口KF25，整机净重54kg，无需额外加装减震装置，运行稳定无震动。真空测量范围5×102～1.0×10Pa，测量精度1Pa，实时显示腔体真空数值，数据精准无误，配套真空报警装置，异常情况自动停机。 5. 控制系统：7 寸触摸屏 + PLC，自主专利等离子控制系统，三级权限、自动/手动双模式、配方存储/调用、压强平衡功能、真空/辉光/功率多重防呆报警； 6. 设备结构：ICP 电感耦合 + 外电极结构，60°倾角操作面板； 7. 电气要求：电源采用单相AC200-220V宽压适配，整机功率≤1000W，省电节能，适配实验室供电环境，无需改造电路。 8. 整机尺寸：设备外形尺寸550mm×675mm×660mm，误差不超过±5mm，便于搬运和摆放。 9. 设备功能：集表面清洗、活化、刻蚀、PDMS键合、光刻胶去胶五大功能于一体，一机多用，满足各类科研及小批量精密处理需求。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 90000 | 最低价原则 | |||||
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2026-04-14
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