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| 手动光刻机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年4月至6月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 手动光刻机 |
| 预算金额: | 80.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
采购设备为半自动光刻机,可用于集成电路,电子信息,电子科学与技术等微纳工艺试验教学。数量为2,参数方面需满足:可用于2、4、6英寸完整晶圆及不规则衬底的光刻教学,光刻最小线宽精度~1um。在服务与安全方面,设备需符合CE、SEMIS2和S8安全标准,并需提供安装调试、操作培训及不少于两年的质保服务。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写