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| 台阶仪 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年4月至6月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 台阶仪 |
| 预算金额: | 40.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
该设备主要用于高等院校集成电路微纳加工工艺教学中的表征测试,旨在实现对最大350mm×350mm规格的大尺寸半导体晶圆及面板样品的高精度测量,其核心功能包括光刻及薄膜沉积后的台阶高度测量、晶圆衬底表面的平整度评估以及 3D 表面映射分析。采购数量为1套,系统需满足垂直分辨率及台阶高度重复性小于0.5nm ,同时必须配置具备气动被动****工作站。在服务与安全方面,设备需符合CE、SEMIS2和S8安全标准,并需提供安装调试、操作培训及不少于两年的质保服务。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写