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半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目报告书

审批

湖南-益阳-赫山区

发布时间： 2026年04月14日

项目详情

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[**] 半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目报告书

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根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我局共受理1个建设项目环境影响评价文件。现将受理情况予以公示，

公示期：从即日起，报告书为10个工作日，报告表为5个工作日。

通讯地址：**安****公司**市迎宾路555号 ****服务局生态环境局窗口：邮编：413000：联系方式：0737-****302

项目名称：半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目
建设单位： ****
建设地点： **省**市**区
建设内容：本项目为****投资建设的半导体设备用高端碳化硅陶瓷零部件研发、生产项目，位于**高新区东部产业园标准化厂房E区El栋，属于改扩建工程。项目建设规模为扩建年产4000套半导体设备用碳化硅石墨基座生产线，主要建设内容包括在现有厂区南侧新租用厂房建设碳化硅涂层石墨件生产线，新增8台卧式化学气相沉积炉系统、2台纯化炉及配套的机加工、清洗烘干系统，并配套建设特气房、氩气房、氢气房及环保设施。项目利用石墨块、甲基三氯硅烷等原料，通过机加工、纯化、化学气相沉积等工艺生产碳化硅涂层石墨件，同时对现有工程的废气处理设施进行升级改造，旨在满足高端半导体设备零部件的市场需求。

环评单位：******公司

受理单位：****环境局

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

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