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| 1 | 1336db56-e860-4e53-a8f0-4edae062a4db | 16所气相沉积炉搬迁 | 外包服务 | 规格型号:- | 1台 | 一次性交货 | 将气相沉积炉从510南1-6房间搬迁至516西厂房。 1.设备拆卸搬运及安装。包括主体设备的拆卸、运输和组装(拆卸、运输和组装车辆及人员),循环水管线、电线电缆、尾气管道阀门等配套需求。 2.设备所需配套特气管线(含管道和阀门),工艺气体涉及氨气、BCL3等 3.设备调试。包括主体设备拆卸组装、工艺管路、液环泵等关键部件的建设,以及各个控制柜弱电接线,设备组装好后的通电以及相关气体管路的保压、相关流量计的测试和相关的工艺测试等。 |