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| 磁控离子溅射仪 | 1.0/套 | ****公司 | GVC-1000 | 1.溅射组件:采用平面磁控溅射组件,对样品基本无热损失; 2.显示组件:彩色触摸式液晶屏显示,屏幕不小于7英寸,标配中文界面,选配英文、俄文等界面,全数字显示; 3.操作方式:一键操作,按下实体按键后,自动完成抽真空、真空度调整、溅射镀膜、放气全部过程,可实现无人值守;具备暂停功能,可在操作流程中暂停系统进程; 4.工作电流:溅射电流不小于30mA,最小溅射电流不大于2mA,步进量为lmA;5.工作时长:最长溅射时间不小于900秒,步进量1秒; 6.溅射靶材:直径不小于57mm,一次可喷镀15个标准样品杯; 7.保护功能:具备电流保护和真空保护,在电流过大、真空度较差时保证设备安全; 8.极限真空:<1Pa,真空泵抽速不小于1L/s; 9.统计功能:可实时显示靶材使用时间和设备工作时间; 10.信息化:可用实时曲线显示溅射电流和真空度,并具备不少于三种颜色的状 态指示灯,可清晰传递系统工作状态。 | 质保壹年 |