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中山大学柔性电子学院真空镀膜及手套箱系统采购项目
招标详情
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***********公司企业信息
****2026年5至6月政府采购意向-********学院真空镀膜及手套箱系统采购项目 详细情况
| ********学院真空镀膜及手套箱系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | ********学院真空镀膜及手套箱系统采购项目 |
| 预算金额： | 148.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2402真空应用设备
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| 采购需求概况 ： |
高真空电子束蒸发镀膜机（核心产品），数量：1套；双工位手套箱，数量：4套。 该批设备主要用于在高真空环境下制备金属及化合物薄膜，并在极低水氧环境下进行样品保护、转移及后续工艺操作。是开展有机电子、柔性电子、微纳加工等本科教学的核心基础设备，用于制备高质量的电极和功能层，确保材料与器件在制备过程中的稳定性。 技术要求如下： （一）高真空电子束蒸发镀膜机（核心产品）： 1.真空腔室：Φ500×600mm；极限真空优于5.0×10Pa，工作真空≤5.0×10Pa； 2.抽速：从大气抽至8.0×10Pa ≤20min； 3.基片台：5英寸，可旋转0-25r/min，配气动挡板； 4.电子枪：E型，功率8KW，6穴坩埚； 5.膜厚监控仪：进口品牌，显示精度±0.1； 6.控制方式：PLC+触摸屏手自动控制，具有完备报警与保护功能。 （二）双工位手套箱： 1.箱体：304不锈钢，单工位操作长度≥1220mm，内含多层搁物架； 2.过渡舱：大过渡舱直径≤360mm，小过渡舱直径≤150mm，与箱体为可拆卸法兰连接； 3.玻璃视窗：实芯O型密封圈法兰视窗结构，实现无泄漏； 4.气体净化系统：自动再生，水氧含量＜1ppm； 5.循环能力：集成风机流量≥90m3/h，变频控制； 6.分析仪：水分析仪采用五氧化二磷传感器，氧分析仪采用二氧化锆传感器，均可再生，维护成本低； 7.配置箱内有机溶剂吸附器。 交付时间要求： 2026年11月30日前。 售后服务要求： 整机免费保修5年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。
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| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-10-11
2026-04-27
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