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| 氙等离子源双束聚焦扫描电子显微镜 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 氙等离子源双束聚焦扫描电子显微镜 |
| 预算金额: | ****000.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0301显微镜
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| 采购需求概况 : |
配备肖特基场发射 SEM与Xe 等离子 FIB双束系统,SEM 加速电压 50eV–30keV,分辨率 0.8nm@30keV,探针电流 2pA–400nA;Xe 等离子 FIB 加速电压 500eV–30keV,离子束分辨率 10nm@30keV,探针电流 1pA–3.3μA。搭载 5 轴电动**样品台,XY 行程 130mm,倾转 - 70°~+90°、360° 连续旋转。支持全自动 TEM 制样、3D 断层扫描,集成 EDS/EBSD/TOF-SIMS 分析,无油高真空系统,兼容大尺寸样品。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写