氙等离子源双束聚焦扫描电子显微镜

发布时间: 2026年04月30日
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****2026年4至12月政府采购意向-氙等离子源双束聚焦扫描电子显微镜 详细情况
氙等离子源双束聚焦扫描电子显微镜
项目所在采购意向: ****2026年4至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 氙等离子源双束聚焦扫描电子显微镜
预算金额: ****000.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0301显微镜
采购需求概况 :
配备肖特基场发射 SEM与Xe 等离子 FIB双束系统,SEM 加速电压 50eV–30keV,分辨率 0.8nm@30keV,探针电流 2pA–400nA;Xe 等离子 FIB 加速电压 500eV–30keV,离子束分辨率 10nm@30keV,探针电流 1pA–3.3μA。搭载 5 轴电动**样品台,XY 行程 130mm,倾转 - 70°~+90°、360° 连续旋转。支持全自动 TEM 制样、3D 断层扫描,集成 EDS/EBSD/TOF-SIMS 分析,无油高真空系统,兼容大尺寸样品。
预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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