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芜湖智能传感器研究院有限公司离子束扫描电子显微镜等设备采购（二包）答疑公告
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各潜在投标人：
一、现将各潜在投标人对本项目“****离子束扫描电子显微镜等设备采购（二包）”提出的有关疑问，回复如下：
疑问：本项目第三章采购需求一览表 序号10光刻机 27.支持键合对准包含如下夹具：b.支持6"晶圆对的键合对准,开窗尺寸5≥7mm×20mm,距中心≥11mm。开窗尺寸描述是否有误
回复：b.支持6"晶圆对的键合对准,开窗尺寸≥57mm×20mm,距中心≥11mm。
注：此公告视同招标文件的组成部分，与招标文件具有同等法律效力。
招标人：****
招标代理机构：****
2026年4月30日
附件（1）
芜湖智能传感器研究院有限公司离子束扫描电子显微镜等设备采购（二包）答疑澄清第1次20260430.pdf下载预览
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